壓力傳感器芯片SCA2095原理及MEMS硅壓阻式構(gòu)造介紹
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上下二層是玻璃體，中間是硅片，其應(yīng)力硅薄膜上部有一真空腔，使之成為一個典型的絕壓壓力傳感器。為了便于TPMS接收器的識別，每個壓力傳感器都具有32位獨特的ID碼，它可產(chǎn)生4億個不重復(fù)的號碼。
壓力傳感器芯片制作工藝流程如下圖所示：
圖3 工藝流程示意圖
壓力傳感器由具有壓阻效應(yīng)的敏感元件構(gòu)成測量電橋，當(dāng)受外界壓力作用時，電橋失去平衡，產(chǎn)生輸出電壓。
總結(jié)
本文簡單介紹了壓力傳感器芯片的分類、制作工藝流程等知識，并以壓力傳感器芯片SCA2095為例分析了其原理，同時就對于MEMS硅壓阻式壓力傳感器芯片結(jié)構(gòu)的知識也做了相應(yīng)的概括。
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