通過(guò)逐步調(diào)節(jié)量子阱勢(shì)壘的組分，最終發(fā)現(xiàn)In0.1Ga0.9N／In0.2Al0.3Ga0.5N多量子阱結(jié)構(gòu)中的極化電荷基本可以抵消，也就是說(shuō)，做到了極化匹配。極化匹配的GaN基多量子阱結(jié)構(gòu)的能帶結(jié)構(gòu)如圖3所示。

從圖中可以看出，在極化匹配的情況下，GaN基量子阱結(jié)構(gòu)與傳統(tǒng)的GaAs基或InP基量子阱類似，在沒(méi)有外加電場(chǎng)時(shí)，都是矩形勢(shì)阱結(jié)構(gòu)。在這樣的能帶結(jié)構(gòu)下，通過(guò)改變勢(shì)阱的厚度，可以設(shè)計(jì)不同探測(cè)波長(zhǎng)的量子阱紅外探測(cè)器。另外，通過(guò)改變勢(shì)壘和勢(shì)阱的成分，并在這個(gè)過(guò)程中保持極化匹配，將來(lái)還可以設(shè)計(jì)出不同深度的量子阱結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)不同探測(cè)波段的量子阱紅外探測(cè)器。

3 結(jié)語(yǔ)
利用自發(fā)極化和壓電極化的相互抵消作用，通過(guò)對(duì)GaN基多量子阱結(jié)構(gòu)的能帶結(jié)構(gòu)進(jìn)行研究，找到了可以極化匹配的GaN基多量子阱結(jié)構(gòu)，完成了GaN基量子阱紅外探測(cè)器的設(shè)計(jì)，為下一步實(shí)現(xiàn)GaN基量子阱紅外探測(cè)器做好了準(zhǔn)備。