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          納米技術(shù)在微電子方面的應(yīng)用

          作者: 時(shí)間:2012-10-04 來(lái)源:網(wǎng)絡(luò) 收藏

          本文引用地址:http://cafeforensic.com/article/164862.htm

          這種納米粒子的功能在其有機(jī)外殼熱分解去除后便展示出來(lái)。圖5顯示了銀納米粒子的熱分析結(jié)果(DTA/TG曲線)。從DTA曲線來(lái)看,在發(fā)熱反應(yīng)開(kāi)始的同時(shí),粒子質(zhì)量迅速減少,可以認(rèn)為這時(shí)的有機(jī)外殼已被分解與去除。而且,當(dāng)提升加熱速度時(shí),分解溫度則向高溫側(cè)移動(dòng)。圖6顯示了分解結(jié)束溫度與加熱速度的關(guān)系,從圖可知,即使把加熱速度加快到20℃/m,分解也在 265℃左右結(jié)束,在300℃以下出現(xiàn)納米粒子的功能。也就是說(shuō),在300℃以下可利用該納米粒子進(jìn)行連接。

          圖5 銀納米粒子熱分析結(jié)果(DTA/TC曲線)

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          圖6 有機(jī)外殼分解結(jié)束溫度與加熱溫度的關(guān)系

          2 有機(jī)物—銀復(fù)合納米粒子的連接特點(diǎn)

          日本大阪大學(xué)銅質(zhì)圓板型試驗(yàn)片作銀納米粒子連接試驗(yàn),分別測(cè)出了銀微米粒子(平均粒徑為100nm)和銀納米粒子的脆斷強(qiáng)度(見(jiàn)圖7)。其中,該試驗(yàn)是在300℃、保溫300min、加壓5Mpa的條件下進(jìn)行的。如圖7所示,納米粒子連接與微粒子連接相比,顯示出了很高的脆斷強(qiáng)度。

          圖7 脆斷強(qiáng)度結(jié)果

          用電鏡分別對(duì)各自的連接斷面觀察,發(fā)現(xiàn)用銀微米粒子的場(chǎng)合,其與銅的連接面有空隙狀缺陷。銀微米粒子的觸點(diǎn)破壞發(fā)生在銀/銅界面,所得的5Mpa左右的觸點(diǎn)強(qiáng)度被認(rèn)為是兩者簧片的機(jī)械連接結(jié)果。而銀納米粒子的觸點(diǎn)破壞面被認(rèn)為是銀伸長(zhǎng)而塑性變形的痕跡,其在界面附近的銀層中會(huì)斷裂(圖8)。由此可見(jiàn),用銀納米粒子連接比用銀微粒子連接的界面強(qiáng)度更高。

          圖8 銀納米粒子燒結(jié)層/Cu界面附近的TEM圖像



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