一種單軸MEMS陀螺儀信號處理電路設(shè)計
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CV轉(zhuǎn)換模塊的原理如圖5所示，其中虛線部分表示機(jī)械部分單軸等效電容。該結(jié)構(gòu)采用輔助運(yùn)放抵消了等效電容的共模部分，只對等效電容的差模部分敏感，并采用時序控制開關(guān)電容電路以得到更高的增益和更低的噪聲性能。該電路的輸入輸出關(guān)系為
4 仿真結(jié)果
MEMS陀螺儀信號處理芯片采用TSMC 0．35μm2P4M工藝實現(xiàn)，版圖面積為4 mm×4 mm，整體版圖如圖6所示。本文引用地址：http://cafeforensic.com/article/172299.htm
仿真結(jié)果如圖7和圖8所示，圖7表明驅(qū)動環(huán)路能夠穩(wěn)定工作，圖8的波形是75°／s(100Hz)輸入角速度的輸出波形，輸出電壓峰值為0.5V。
5 結(jié)束語
MEMS陀螺儀信號處理電路是實現(xiàn)MEMS陀螺儀產(chǎn)業(yè)化的關(guān)鍵，文中設(shè)計了一種單軸MEMS陀螺儀信號處理電路，并基于TSMC 0．35μm 2P4M工藝實現(xiàn)。MEMS陀螺儀的難點(diǎn)是系統(tǒng)分析，文中分析了閉環(huán)驅(qū)動穩(wěn)定性，并設(shè)計了一個對傳感器電容共模部分不敏感的CV轉(zhuǎn)換模塊，仿真顯示MEMS陀螺儀整體工作正常，具體指標(biāo)如表1所示。
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