Fourier變換輪廓術中參數(shù)的選擇和優(yōu)化研究
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為了進一步說明經(jīng)參數(shù)選擇和優(yōu)化的優(yōu)越性，在標定的基礎上得出以下的誤差圖：標定行程為10 cm，步進電機攜標定板每次移動10 mm，這樣在10 cm的行程中總共采集11組圖片，分別為50，40，30，20，10，O，一10，一20，一30，一40，一50(mm)。選取10 mm處的圖片進行分析，可得到如圖13所示的標準差圖，從圖中發(fā)現(xiàn)，實際高度為10 mm的平面，在測量下其高度分布在9．97～10．005 mm之間，其誤差在0．03 mm以內。實驗測得標準差為0．022 5 mm。
4 結 語
在參數(shù)選擇和優(yōu)化過程中，需注意夾角越大測量精度越高，但是夾角過大，會使得視場變小，視場變小會影響測量范圍，增大誤差，因此需壓縮夾角。經(jīng)過多次試驗，夾角在20°～30°效果最好，精度最高；利用等效波長的概念，壓縮夾角，提高投影光柵的空間頻率，這樣既可以保證系統(tǒng)的測量精度，又可以保證系統(tǒng)的視場范圍。同時，進行空間帶寬積的合理選擇，以及濾波、相位展開等處理，進一步提高了FTP的測量范圍的同時，系統(tǒng)的測量精度也得到了保證，達到兩全其美的效果。
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