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          ITO表面處理方法

          作者: 時間:2012-03-13 來源:網(wǎng)絡(luò) 收藏
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          王水/氧等離子體

          27.7

          4.6

          6.0

          氧等離子體/王水

          >30.0

          4.7

          1.8

          HCL

          26.3

          4.54

          1.3

          4 結(jié)束語

          通過上面的對比發(fā)現(xiàn),使用機(jī)械拋光法能得到最光滑的表面,氧等離子體處理能得到功函數(shù)最高的表面,UV臭氧處理的表面電阻率最低。只有通過結(jié)合使用多種方法才能得到最佳性能的ITO表面。

          離子色譜儀相關(guān)文章:離子色譜儀原理

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          關(guān)鍵詞: ITO 表面處理

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