盡管中國(guó)的MEMS產(chǎn)業(yè)面臨良好的發(fā)展機(jī)遇，但不容忽視的是，與國(guó)外MEMS產(chǎn)業(yè)界相比，目前國(guó)內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展存在以下問(wèn)題：

1、缺乏MEMS產(chǎn)業(yè)鏈的支持。國(guó)內(nèi)要發(fā)展MEMS產(chǎn)業(yè)，則必須要象半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)那樣建立從器件模型、模擬工具、制造加工到封裝測(cè)試等完整產(chǎn)業(yè)鏈的支持。雖然目前國(guó)內(nèi)有發(fā)展MEMS產(chǎn)業(yè)鏈良好的工業(yè)基礎(chǔ)，但是由于代工廠以及封裝廠對(duì)新興MEMS產(chǎn)業(yè)的陌生，并沒(méi)有開(kāi)展相關(guān)MEMS業(yè)務(wù)。此外，代工廠以及封裝廠也缺乏相關(guān)技術(shù)來(lái)源。上述因素導(dǎo)致中國(guó)在MEMS產(chǎn)業(yè)鏈方面的建設(shè)基本處于空白狀態(tài)。

2、缺乏高端研發(fā)人員，與歐美發(fā)達(dá)國(guó)家相比，我們的研發(fā)水平相對(duì)較低，從基礎(chǔ)研究上就處于落后地位；亦缺乏經(jīng)驗(yàn)豐富的本土MEMS工程師，導(dǎo)致產(chǎn)業(yè)化難度較大。

3、沒(méi)有MEMS產(chǎn)業(yè)的工業(yè)積累，國(guó)內(nèi)一些科研院所普遍仍處于摸索狀態(tài)，基本集中于某些不計(jì)成本、滿(mǎn)足特定目的、小批量的特種MEMS傳感器制造，如國(guó)防應(yīng)用。

4、國(guó)內(nèi)創(chuàng)業(yè)環(huán)境較差，對(duì)很多MEMS初創(chuàng)公司來(lái)說(shuō)較難募集到資金。

由于存在上述發(fā)展障礙，國(guó)內(nèi)外的MEMS技術(shù)差距正在不斷增大。目前國(guó)內(nèi)絕大部分MEMS公司的技術(shù)能力只能達(dá)到壓力傳感器的初級(jí)水平，惟有蘇州敏芯微電子技術(shù)有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“敏芯”）在技術(shù)難度更高的硅麥克風(fēng)領(lǐng)域取得了突破，技術(shù)能力已達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。而與之相對(duì)的是，國(guó)外公司已經(jīng)在技術(shù)難度相對(duì)較高的領(lǐng)域不斷突破，如微投影儀、單芯片相機(jī)、微型燃料電池、硅振蕩器等等。

如果不及時(shí)對(duì)國(guó)內(nèi)的MEMS產(chǎn)業(yè)實(shí)施扶持，則日后MEMS產(chǎn)業(yè)大有可能步半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的后塵，陷入競(jìng)爭(zhēng)力不強(qiáng)、回報(bào)率太低的惡性循環(huán)。具體而言，MEMS做為一個(gè)新興技術(shù)，其研發(fā)周期較長(zhǎng)且資金投入巨大。中國(guó)如果不能及時(shí)跟上國(guó)外研發(fā)步伐，隨著時(shí)間推移，即使中國(guó)在以后掌握了某些核心技術(shù)，但是屆時(shí)可能又落入了知識(shí)產(chǎn)權(quán)的陷阱。類(lèi)似于高通公司壟斷CDMA市場(chǎng)的案例，在一些大的MEMS市場(chǎng)，國(guó)外大公司事實(shí)上已經(jīng)形成了技術(shù)以及知識(shí)產(chǎn)權(quán)的壟斷，如德州儀器公司壟斷了DLP（數(shù)字投影儀）市場(chǎng)，惠普等企業(yè)壟斷了噴墨打印頭市場(chǎng)等等。