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          用激光平面千涉儀測量光學平板玻璃的平行差

          作者: 時間:2012-05-24 來源:網(wǎng)絡 收藏

            這種方法首先在光膠玻璃上涂臘,在涂臘過程中,應盡可能在墊板中心和四周留有透光的部分,如圖8中所示黑的部分就是留透光孔的地方。調(diào)整干涉儀,使其標準平面

            

            與墊板上表面發(fā)生的干涉條紋中調(diào)整到與墊板中心重合(圖中黑色線表示干涉條紋,墊板的干涉條紋就是留出的小孔部分)。然后觀察零件表面的千涉條紋,看其中心偏向那邊。如果墊板零件表面都是低光圈時,心在那邊,那邊薄,背向即為厚端。最后修至墊板和零件表面干涉條紋成同心圓。

            如果墊板光圈呈直線,即N0.1時,光圈圈不起來,無法對中心,這時只需把墊板光帶調(diào)成最寬狀聲,中心已不見光帶,只見一片均勻光,只能從邊緣四個小孔中看到一點光帶,見圖9。此時墊板表面和標準平面的干涉條紋接近平行,即相當對準了中心。然后觀察零件表面干涉條紋心偏向那邊,那邊為薄,然后壓厚的一方繼續(xù)修整。直至墊板條紋與零件條紋重合,就證明墊板表面與零件表面是平行狀態(tài),如圖10所示。

            

            此時即可下盤,一般4護以下是能夠保證的。如果光膠時無塵,而且零件第一面光圈很好,N0.1,這時有的可高至l“~2“。上邊所講都是墊板和零件表面是低光圈的現(xiàn)象。如果零件表面是高光圈時,薄厚端正好相反,見圖11所示。心向的便是厚端,背向即為薄端。

            

            從圖12中可以可看出,由于零件表面高光圈,中心厚,應采取降光圈的方法,直至改至圖13所示的情況

            

            以上幾種情況還可以此類推,如一面是高光圈,一面是低光圈,還要看那面高多少,那面低多少等。總之由于兩個表面各點光程差不等,呈現(xiàn)出相應的干涉圖樣,通過對圖樣的觀察、分析,具體情況具體對待。

            

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