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          一種基于壓電石英晶體的高gn值加速度傳感器

          ——
          作者: 時間:2007-10-25 來源:傳感器與微系統(tǒng) 收藏

            引 言

            引信對多層硬目標(biāo)的探測和識別是近年來引信技術(shù)發(fā)展的一個主要分支。多層目標(biāo)侵徹探測采用機(jī)械動作無法完成,只能利用抗高過載的采集、識別目標(biāo)信息,適時控制引爆戰(zhàn)斗部,以獲得最佳毀傷效果。對多層目標(biāo)的探測識別與控制引爆技術(shù),美國已應(yīng)用在武器型號中,據(jù)報(bào)道目前美國可對16層目標(biāo)進(jìn)行探測與識別。在1999年的科索沃戰(zhàn)爭中,美國攻擊我國駐南斯拉夫大使館使用的JADM彈藥就是采用多層侵徹引爆。

            由于不但能探測彈發(fā)射過程的加速度,為安全解除保險(xiǎn)提供信息,同時,利用測得的彈道飛行信息還可以為彈道修正提供依據(jù);再者還可以利用加速度傳感器對多層目標(biāo)侵徹進(jìn)行探測,為引信起爆提供信息。因此,加速度傳感器在引信上的應(yīng)用比其他類型的傳感器有著更廣闊的前景。但由于引信所經(jīng)受的特殊環(huán)境,對加速度傳感器的要求也非常的苛刻,一是抗高過載,其加速度范圍為幾萬gn到幾十萬gn的范圍;二是體積小、質(zhì)量輕;

            另外,諧振頻率、動態(tài)范圍也是主要考慮的因素,要求諧振頻率高,動態(tài)范圍大;如果工作頻率段為0~5 kHz,那么,用于測試的傳感器的頻率至少應(yīng)該為15 kHz。

            壓電加速度傳感器具有體積小,頻率范圍寬(可達(dá)30000Hz),沖擊加速度測量可以從幾分之一gn到200000gn,在0~85℃的范圍內(nèi)具有較好的特性,堅(jiān)固、穩(wěn)定、沒有活動部件、價格便宜;但壓電加速度傳感器需要特殊的電荷放大器,對于低頻率或低gn值的加速度測量不太合適,長時間歷程(大于10ms)沖擊的測量效果較差。

            國際上,許多知名的公司和研究機(jī)構(gòu)都開展了加速度傳感器的研究,如美國ENDEVCO公司研制的高gn加速度傳感器,主要應(yīng)用在激光制導(dǎo)炸彈和巡航導(dǎo)彈中。美國生產(chǎn)的加速度傳感器量程在20萬gn左右,目前,國產(chǎn)的高gn值加速度傳感器主要是壓電式的,量程在10萬gn左右。本文作者研制的壓縮式壓電石英加速度傳感器的最大量程可以達(dá)到15萬gn,具有20kHz的頻率響應(yīng),幅值線性度小于10%,完全滿足硬目標(biāo)侵徹的應(yīng)用。

            1 壓電加速度傳感器

            壓電傳感器是一種利用壓電效應(yīng)進(jìn)行機(jī)電能量轉(zhuǎn)換的變換器,是一種典型的有源傳感器。壓電材料在外力的作用下,在材料的表面上產(chǎn)生電荷,從而實(shí)現(xiàn)非電量的轉(zhuǎn)換。因?yàn)樗哂腥舾蓛?yōu)點(diǎn),所以,被廣泛地應(yīng)用于機(jī)械結(jié)構(gòu)的振動與沖擊參量的測量,壓電傳感器基本上有壓縮式、剪切式和彎曲式3種形式。

            1.1 加速度傳感器的結(jié)構(gòu)

            本文作者采用壓縮式、雙屏蔽套筒式的結(jié)構(gòu)。該結(jié)構(gòu)的特點(diǎn)是利用壓電石英的縱向壓電應(yīng)變系數(shù)d33,將兩片壓電片機(jī)械串聯(lián)以增大傳感器的靈敏度。雙屏蔽套筒式的結(jié)構(gòu)能夠有效屏蔽外界干擾對傳感器輸出的影響,中問間隙灌封的材料能夠?qū)鞲衅髌鸬揭欢ǖ谋Wo(hù)作用。應(yīng)用同軸電纜作為引線也能減少外界對傳感器輸出的影響。采用優(yōu)質(zhì)的高強(qiáng)度、低密度的航空材料作為該加速度傳感器的主體結(jié)構(gòu),能夠有效地降低傳感器的質(zhì)量,增加整個加速度傳感器的固有頻率,提升加速度傳感器的有效工作頻段。

            1.2 加速度傳感器的工作原理

            當(dāng)固定在被測物體上的加速度傳感器隨物體運(yùn)動時,其慣性質(zhì)量塊產(chǎn)生慣性作用力作用在壓電晶體片上,壓電晶體片產(chǎn)生與此作用力成比例的變形,由于壓電晶體片的壓電效應(yīng),產(chǎn)生與壓電元件變形成比例的電荷,此信號由輸出端引出。檢測出輸出的電荷量,就可以根據(jù)標(biāo)定的靈敏度數(shù)值計(jì)算出被測物體的加速度,可用公式表示為

            D=dma, (1)

            式中 D為壓電材料的電位移(單位面積電荷);d為壓電常數(shù);m為質(zhì)量塊的質(zhì)量;a為加速度?;蛘吆唵伪硎緸?/P>

            D=SQ>a, (2)

            式中 SQ為電荷靈敏度。

            對于每一個傳感器D,m,SQ均為常數(shù),因此,產(chǎn)生的電荷量(通過電荷放大器轉(zhuǎn)換成電壓)與所受的沖擊加速度成正比。

            壓電加速度傳感器可以用圖1所示的二階系統(tǒng)模擬。

            

            其中,m為質(zhì)量塊的質(zhì)量;c為阻尼系數(shù);K為壓電晶體片的剛度(K=Eπφ2/8t,E為壓電晶體片的楊氏模量,φ為壓電晶體片的直徑,t為壓電晶體片的厚度);加速度傳感器的絕對位移為X(t),質(zhì)量塊m的絕對位移為Xm(t),因此,質(zhì)量塊和傳感器的相對位移為Xm(t)-X(t),當(dāng)輸入加速度為a時系統(tǒng)的傳遞函數(shù)為

            

            實(shí)際上,加速度傳感器的固有頻率是低于

          的,因?yàn)榇颂幍膍僅指質(zhì)量塊的質(zhì)量,K指壓電晶體片的剛度。加速度傳感器的固有頻率可以通過計(jì)算獲得,但是,計(jì)算公式相當(dāng)復(fù)雜。一般加速度傳感器的固有頻率通過阻抗分析儀或激光掃頻測振儀來獲得。

            1.3 加速度傳感器的電路設(shè)計(jì)

            壓電傳感器內(nèi)阻很高,且信號微弱,特別是以作為壓電材料的壓電傳感器,信號極其微弱,其靈敏度只有幾十fC/gn。當(dāng)用電壓前置放大電路信號時,其輸出電壓與傳感器固有電容、接線電容、傳感器絕緣電阻有關(guān),這些參數(shù)對測量精度影響很大。為克服這一缺點(diǎn),需采用電荷放大器。電荷放大器是具有電容反饋、高輸入阻抗,高增益的放大電路,如圖2所示。

            

            圖3中,Cf為電荷放大器反饋電容;Cz為傳感器電容;Ca為電纜電容;Ci為放大器輸入電容;Rf為反饋電阻;A為放大器開環(huán)增益。

            根據(jù)“密勒”效應(yīng),可將Ci折算到放大器輸入端的有效電容C′f為

            

            考慮到壓電石英傳感器輸出靈敏度和沖擊測量范圍,電路的轉(zhuǎn)換靈敏度設(shè)計(jì)為1 mV/pC。

            電荷放大器的頻響和放大器本身的開環(huán)頻響的好壞關(guān)系不大,主要取決于反饋電容和傳感器連接電纜。電荷放大器的低頻響應(yīng)主要由反饋電容Cf和反饋電阻Rf決定。低頻下降3 dB的截止頻率為

            

            式中ft為低頻下降3 dB的截止頻率。

            沖擊測量為動態(tài)測量,實(shí)際應(yīng)用也主要利用其動態(tài)特性。在長時間歷程沖擊測量時,傳感器殘余電荷和外界干擾引起電荷放大器輸出的零位漂移,零位漂移容易引起放大電路飽和,當(dāng)放大器電源電壓較低的情況下尤其明顯。在對沖擊加速度動態(tài)測量精度要求不太苛刻時,適當(dāng)提高電荷放大器的低頻響應(yīng),可減小電荷放大器輸出的零位漂移。如低頻響應(yīng)截至頻率太高,會導(dǎo)致輸出信號波形失真,同時,會影響測量精度。為折中考慮,低頻截止頻率設(shè)計(jì)為30Hz左右。

            2 試驗(yàn)結(jié)果

            2.1 試驗(yàn)條件

            加速度傳感器通過馬希特錘擊機(jī)和霍普金森桿進(jìn)行了標(biāo)定試驗(yàn),馬希特錘擊機(jī)最多只能標(biāo)定到8萬gn左右,而霍普金森桿最多可以標(biāo)定20萬gn左右。對低gn值時,對馬希特錘擊機(jī)進(jìn)行了標(biāo)定。

            2.1.1 馬希特錘擊機(jī)

            馬希特錘擊機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖如圖3所示。

            

            馬希特錘擊機(jī)能夠標(biāo)定的gn值沒有霍普金森桿標(biāo)定的gn值高,但其重復(fù)性比較好,應(yīng)力波的形式比較復(fù)雜,較接近于傳感器的實(shí)際應(yīng)用環(huán)境。

            2.1.2 信號記錄

            通過錘擊試驗(yàn),傳感器的輸出信號用同軸電纜傳至電荷放大器,最后,通過示波器輸出,為便于數(shù)據(jù)判讀,濾波器選擇10 kHz。通過測量各傳感器的輸出信號取得各傳感器在沖擊過程中的相關(guān)參數(shù)。

            2.2 試驗(yàn)結(jié)果

            圖4是編號為H1101的傳感器在馬希特錘擊機(jī)上標(biāo)定的曲線。

            

            3 結(jié)論

            高gn值加速度傳感器具有高過載、高響應(yīng)速度、高環(huán)境壓力以及體積小和價格低等特點(diǎn)。本文作者開發(fā)的新型壓電石英加速度傳感器具有15萬gn的量程,能夠?qū)崿F(xiàn)高gn環(huán)境下的加速度測量,滿足彈上的要求。通過大量的試驗(yàn)數(shù)據(jù),在大量程和靈敏度之間綜合考慮,確定了高gn的設(shè)計(jì)思路,并采用壓縮式、雙屏蔽套筒式壓電石英加速度傳感器。另外,就是材料的選擇,通過分析試驗(yàn)數(shù)據(jù),選擇了強(qiáng)度高、質(zhì)量輕的優(yōu)質(zhì)航空材料作為整個傳感器的主要用材。



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