1 光柵位移傳感器測(cè)量原理

　　將光源、兩塊長光柵(指示光柵和標(biāo)尺光柵)、光電檢測(cè)器件等組合在一起構(gòu)成的光柵傳感器通常稱為光柵尺。當(dāng)兩塊光柵以微小傾角重疊時(shí)，在與光柵刻線大致垂直的方向上就會(huì)產(chǎn)生莫爾條紋，在條紋移動(dòng)的方向上放置光電探測(cè)器，可將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，這樣就可以實(shí)現(xiàn)位移信號(hào)到電信號(hào)的轉(zhuǎn)換。目前使用的光柵尺的輸出信號(hào)主要有2類：一類是相位角相差

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