硅襯底藍(lán)色發(fā)光器在業(yè)內(nèi)引發(fā)照明工業(yè)革命
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硅襯底藍(lán)色發(fā)光器在業(yè)內(nèi)引發(fā)照明工業(yè)革命
“業(yè)內(nèi)普遍認(rèn)為,半導(dǎo)體發(fā)光燈替代傳統(tǒng)燈,如同半導(dǎo)體晶體管替代真空電子管一樣意義重大而深遠(yuǎn)?!苯逃堪l(fā)光材料與器件工程研究中心主任江風(fēng)益教授向記者透露:“我們已經(jīng)成功研制出硅襯底GaN藍(lán)色發(fā)光二極管材料及器件,現(xiàn)在小試已經(jīng)完成,正在進(jìn)行中試?!?
據(jù)介紹,發(fā)光二極管(LED)是一種冷光源,加上3伏特左右的電壓、通上毫安量級(jí)的電流就可以發(fā)出一定顏色的光,是電子信息技術(shù)領(lǐng)域主要基礎(chǔ)元器件之一。過去,它通常用于各種工業(yè)設(shè)備、儀器儀表、通訊、交通、金融、家用電器、室內(nèi)外裝飾等作信息的指示、顯示和傳遞。如果用它代替?zhèn)鹘y(tǒng)燈來照明,會(huì)有哪些好處? “理論上預(yù)計(jì),半導(dǎo)體照明燈的發(fā)光效率可以達(dá)到甚至超過白熾燈的10倍、日光燈的2倍。因而將具有顯著的節(jié)能效果?!苯L(fēng)益告訴記者,“同時(shí),它還有尺寸小,可以做成各種形狀;具有方向性,色彩鮮明;結(jié)構(gòu)牢固,抗沖擊和抗震能力強(qiáng);超長(zhǎng)壽命,可達(dá)100000小時(shí);無紅外線和紫外線輻射;無汞,有利于環(huán)保等眾多優(yōu)點(diǎn)?!?
制造半導(dǎo)體照明燈的主要方案是:用藍(lán)光激發(fā)稀土熒光粉,合成出白光。于是,藍(lán)色發(fā)光二極管成為其核心部分。 江風(fēng)益介紹:“現(xiàn)有的幾種藍(lán)色發(fā)光二極管制備技術(shù)都存在一些缺陷,比如目前占有主導(dǎo)地位的‘藍(lán)寶石襯底GaN基LED’,盡管還在提高材料生長(zhǎng)和器件制造水平,但藍(lán)寶石襯底不導(dǎo)電,導(dǎo)熱性能差,劃片困難,抗靜電能力差,倒裝焊工藝復(fù)雜,而且橫向電阻大,高電流密度下工作電壓高,浪費(fèi)能耗,不利于半導(dǎo)體照明光源的技術(shù)向前推進(jìn)。‘碳化硅襯底GaN基LED’,由于其襯底導(dǎo)電導(dǎo)熱,在目前半導(dǎo)體照明芯片上占有優(yōu)勢(shì),將在一定時(shí)間范圍內(nèi)領(lǐng)先其他技術(shù)方案,但是其價(jià)格高,劃片困難。另外,‘氮化鎵襯底GaN基LED’,外延材料質(zhì)量可以明顯提高,但同樣存在價(jià)格太高的問題,而且器件加工也是難題。在此情況下,硅襯底成為研究人員矚目的焦點(diǎn)。”
對(duì)于在硅襯底上制備發(fā)光器件,江風(fēng)益用“這是光電子領(lǐng)域里夢(mèng)寐以求的一件事”來形容。相對(duì)于藍(lán)寶石與碳化硅襯底而言,硅片作為GaN材料的襯底有許多優(yōu)點(diǎn),如:良好的導(dǎo)電、導(dǎo)熱性,晶體質(zhì)量高、尺寸大、成本低、易加工等。但由于GaN外延材料與硅襯底之間存在巨大的晶格失配和熱失配,因此在硅襯底上很難得到器件質(zhì)量的GaN材料。雖然近年來在硅襯底上制備GaN材料及器件已有較多的報(bào)導(dǎo),如美、德、日等國(guó)都先后在硅襯底上研制出GaN基LED,但所報(bào)道的光輸出功率最高僅為2mW,其材料與器件質(zhì)量還不能與藍(lán)寶石上的相比。然而,各國(guó)科學(xué)家的夢(mèng)想在發(fā)光材料與器件工程研究中心成為了現(xiàn)實(shí)。國(guó)家863計(jì)劃納米專項(xiàng)、863計(jì)劃光電子主題等重點(diǎn)資助下,中心成功的在硅襯底上研制出GaN藍(lán)色發(fā)光二極管外延材料及器件,在兩英寸外延片內(nèi)LED芯片的工作電壓小于3.5V,光輸出功率大于5mW,獲得了可以實(shí)用的性能優(yōu)良的Si襯底GaN藍(lán)光LED器件,主要性能指標(biāo)好于同類器件中目前文獻(xiàn)報(bào)道的水平。
“這一突破性進(jìn)展表明,在硅襯底上外延GaN基LED,原先擔(dān)心的‘龜裂、晶體質(zhì)量差、P型摻雜困難、工作電壓高、發(fā)光強(qiáng)度低、可靠性差’等所有問題全部可以克服。”江風(fēng)益表示,“尤其這種技術(shù)路線在焊接剝離方面具有非常大的優(yōu)勢(shì),便于制造高反光層P型接觸電極和高出光率的N型表面,便于降低工作電壓,沒有橫向電阻便于在大電流密度下工作,便于散熱,抗靜電能力強(qiáng)?!?
據(jù)悉,這一成果在2005年4月廈門半導(dǎo)體照明國(guó)際論壇中報(bào)道后,國(guó)際同行專家評(píng)價(jià)為目前國(guó)際最好結(jié)果。國(guó)內(nèi)同行專家評(píng)價(jià)該成果為:研制成功并具有國(guó)際一流水平的硅襯底藍(lán)光二極管材料及器件,對(duì)我國(guó)發(fā)光材料與器件領(lǐng)域的發(fā)展具有重大現(xiàn)實(shí)意義和產(chǎn)業(yè)價(jià)值。
在實(shí)驗(yàn)室里,江風(fēng)益向記者展示了硅襯底GaN藍(lán)色發(fā)光二極管。隨著電源接通,小小的二極管放射出璀璨的光芒,雖然是白天,依舊光彩奪目。他說:“如果是用藍(lán)寶石,達(dá)到這個(gè)亮度很正常,但是用硅就已經(jīng)很不容易了。我們正在和有實(shí)力的投資方進(jìn)行產(chǎn)業(yè)化合作談判,爭(zhēng)取在年底之內(nèi)將這一產(chǎn)品推向市場(chǎng)。”
據(jù)介紹,發(fā)光二極管(LED)是一種冷光源,加上3伏特左右的電壓、通上毫安量級(jí)的電流就可以發(fā)出一定顏色的光,是電子信息技術(shù)領(lǐng)域主要基礎(chǔ)元器件之一。過去,它通常用于各種工業(yè)設(shè)備、儀器儀表、通訊、交通、金融、家用電器、室內(nèi)外裝飾等作信息的指示、顯示和傳遞。如果用它代替?zhèn)鹘y(tǒng)燈來照明,會(huì)有哪些好處? “理論上預(yù)計(jì),半導(dǎo)體照明燈的發(fā)光效率可以達(dá)到甚至超過白熾燈的10倍、日光燈的2倍。因而將具有顯著的節(jié)能效果?!苯L(fēng)益告訴記者,“同時(shí),它還有尺寸小,可以做成各種形狀;具有方向性,色彩鮮明;結(jié)構(gòu)牢固,抗沖擊和抗震能力強(qiáng);超長(zhǎng)壽命,可達(dá)100000小時(shí);無紅外線和紫外線輻射;無汞,有利于環(huán)保等眾多優(yōu)點(diǎn)?!?
制造半導(dǎo)體照明燈的主要方案是:用藍(lán)光激發(fā)稀土熒光粉,合成出白光。于是,藍(lán)色發(fā)光二極管成為其核心部分。 江風(fēng)益介紹:“現(xiàn)有的幾種藍(lán)色發(fā)光二極管制備技術(shù)都存在一些缺陷,比如目前占有主導(dǎo)地位的‘藍(lán)寶石襯底GaN基LED’,盡管還在提高材料生長(zhǎng)和器件制造水平,但藍(lán)寶石襯底不導(dǎo)電,導(dǎo)熱性能差,劃片困難,抗靜電能力差,倒裝焊工藝復(fù)雜,而且橫向電阻大,高電流密度下工作電壓高,浪費(fèi)能耗,不利于半導(dǎo)體照明光源的技術(shù)向前推進(jìn)。‘碳化硅襯底GaN基LED’,由于其襯底導(dǎo)電導(dǎo)熱,在目前半導(dǎo)體照明芯片上占有優(yōu)勢(shì),將在一定時(shí)間范圍內(nèi)領(lǐng)先其他技術(shù)方案,但是其價(jià)格高,劃片困難。另外,‘氮化鎵襯底GaN基LED’,外延材料質(zhì)量可以明顯提高,但同樣存在價(jià)格太高的問題,而且器件加工也是難題。在此情況下,硅襯底成為研究人員矚目的焦點(diǎn)。”
對(duì)于在硅襯底上制備發(fā)光器件,江風(fēng)益用“這是光電子領(lǐng)域里夢(mèng)寐以求的一件事”來形容。相對(duì)于藍(lán)寶石與碳化硅襯底而言,硅片作為GaN材料的襯底有許多優(yōu)點(diǎn),如:良好的導(dǎo)電、導(dǎo)熱性,晶體質(zhì)量高、尺寸大、成本低、易加工等。但由于GaN外延材料與硅襯底之間存在巨大的晶格失配和熱失配,因此在硅襯底上很難得到器件質(zhì)量的GaN材料。雖然近年來在硅襯底上制備GaN材料及器件已有較多的報(bào)導(dǎo),如美、德、日等國(guó)都先后在硅襯底上研制出GaN基LED,但所報(bào)道的光輸出功率最高僅為2mW,其材料與器件質(zhì)量還不能與藍(lán)寶石上的相比。然而,各國(guó)科學(xué)家的夢(mèng)想在發(fā)光材料與器件工程研究中心成為了現(xiàn)實(shí)。國(guó)家863計(jì)劃納米專項(xiàng)、863計(jì)劃光電子主題等重點(diǎn)資助下,中心成功的在硅襯底上研制出GaN藍(lán)色發(fā)光二極管外延材料及器件,在兩英寸外延片內(nèi)LED芯片的工作電壓小于3.5V,光輸出功率大于5mW,獲得了可以實(shí)用的性能優(yōu)良的Si襯底GaN藍(lán)光LED器件,主要性能指標(biāo)好于同類器件中目前文獻(xiàn)報(bào)道的水平。
“這一突破性進(jìn)展表明,在硅襯底上外延GaN基LED,原先擔(dān)心的‘龜裂、晶體質(zhì)量差、P型摻雜困難、工作電壓高、發(fā)光強(qiáng)度低、可靠性差’等所有問題全部可以克服。”江風(fēng)益表示,“尤其這種技術(shù)路線在焊接剝離方面具有非常大的優(yōu)勢(shì),便于制造高反光層P型接觸電極和高出光率的N型表面,便于降低工作電壓,沒有橫向電阻便于在大電流密度下工作,便于散熱,抗靜電能力強(qiáng)?!?
據(jù)悉,這一成果在2005年4月廈門半導(dǎo)體照明國(guó)際論壇中報(bào)道后,國(guó)際同行專家評(píng)價(jià)為目前國(guó)際最好結(jié)果。國(guó)內(nèi)同行專家評(píng)價(jià)該成果為:研制成功并具有國(guó)際一流水平的硅襯底藍(lán)光二極管材料及器件,對(duì)我國(guó)發(fā)光材料與器件領(lǐng)域的發(fā)展具有重大現(xiàn)實(shí)意義和產(chǎn)業(yè)價(jià)值。
在實(shí)驗(yàn)室里,江風(fēng)益向記者展示了硅襯底GaN藍(lán)色發(fā)光二極管。隨著電源接通,小小的二極管放射出璀璨的光芒,雖然是白天,依舊光彩奪目。他說:“如果是用藍(lán)寶石,達(dá)到這個(gè)亮度很正常,但是用硅就已經(jīng)很不容易了。我們正在和有實(shí)力的投資方進(jìn)行產(chǎn)業(yè)化合作談判,爭(zhēng)取在年底之內(nèi)將這一產(chǎn)品推向市場(chǎng)。”
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