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MKS為半導(dǎo)體應(yīng)用推出新壓力測(cè)量解決方案

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作者：時(shí)間：2005-09-27 來源：

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MKS Instruments為半導(dǎo)體和生物制藥應(yīng)用推小巧、低電流的壓力測(cè)量解決方案631B。631B采用超小型設(shè)計(jì)，其安裝外殼減小了40%，很容易設(shè)計(jì)到新型小巧處理工具中。正常工作時(shí)電流小于1A(比現(xiàn)有壓力計(jì)小50%)，631B完整的電路只要求

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