加強(qiáng)對化學(xué)品輸送系統(tǒng)的關(guān)注

　　在大批量制造中是否能夠采用新型材料緊密相關(guān)的是要開發(fā)出合適的化學(xué)品輸送系統(tǒng)。 因?yàn)樗玫?ldquo;特殊”材料及其物理性能差異極大，所以目前正在開發(fā)更專門的輸送系統(tǒng)，能以一種產(chǎn)率最高、停機(jī)時(shí)間最少的方式將材料輸送到處理室(圖2)。 在許多情況下，為了確保材料的商業(yè)采用，實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn)變得日益重要。

　　當(dāng)前的經(jīng)濟(jì)環(huán)境使得對制造成本因素的審核比平常要嚴(yán)格得多。 每個(gè)因素都從其總擁有成本 (CoO) 角度進(jìn)行考慮。 正如所預(yù)期的那樣，這包括了由電子化學(xué)品供應(yīng)商提供的生產(chǎn)耗材。 考慮 CoO 的其中一個(gè)關(guān)鍵是材料，適當(dāng)時(shí)，還包括用合適的輸送系統(tǒng)輸送材料(例如液體或蒸汽)的必要形式。 在考慮總擁有成本 (CoO) 時(shí)，輸送系統(tǒng)是一個(gè)關(guān)鍵因素，因?yàn)樗赡軙?huì)顯著減少工具的停機(jī)時(shí)間，確保更高的資產(chǎn)利用率，使各個(gè)流程能夠滿負(fù)荷運(yùn)行，不出現(xiàn)停工情況，從而優(yōu)化工藝效率，并在不影響性能水平的前提下降低運(yùn)營成本。 從這方面講，SAFC Hitech 最新的蒸汽輸送系統(tǒng) EpiVapor 可與我們現(xiàn)有的 Epifill 液體輸送系統(tǒng)互補(bǔ)，這兩個(gè)系統(tǒng)都是針對降低擁有成本 (CoO) 的需要而設(shè)計(jì)，可向沉積室不間斷地供應(yīng)先驅(qū)體，從而盡量減少設(shè)備停機(jī)時(shí)間。 選擇使用什么輸送系統(tǒng)取決于裝置的工藝化學(xué)要求。

　　光伏產(chǎn)品和 LED 的興盛： III-V 族半導(dǎo)體和硅半導(dǎo)體的大規(guī)模生產(chǎn)會(huì)融合嗎?

　　隨著全球?qū)δ茉吹男枨笕找娉^供應(yīng)能力并且能源成本日益增加，解決能源供需之間的缺口給半導(dǎo)體設(shè)備制造商和材料供應(yīng)商們帶來不少機(jī)遇。 解決問題的重點(diǎn)放在節(jié)能和開發(fā)可再生、可持續(xù)的能源上。

　　為了既能利用它們的專業(yè)技術(shù)探索新的增長點(diǎn)，又能在它們的傳統(tǒng)核心重點(diǎn)之外發(fā)揮重要影響，硅半導(dǎo)體制造商和設(shè)備提供商正在節(jié)能照明和光伏電池或模塊領(lǐng)域中尋找機(jī)會(huì)。 最近人們對用于照明應(yīng)用的高亮度發(fā)光二極管 (HBLED) 的興趣激增，這為各硅半導(dǎo)體制造商開創(chuàng)了巨大的商機(jī)，甚至到了讓人覺得從事硅設(shè)備和化合物半導(dǎo)體設(shè)備制造的公司之間歷史界限已經(jīng)“模糊”的地步。 由于預(yù)期各種應(yīng)用中的設(shè)備無論是壽命還是效率上都會(huì)有顯著的改善，目前 HBLED 的制造正在大幅增長。 盡管最近 HBLED 制造增長的主因是為了以 HBLED 替代 LCD 中的背板式冷陰極熒光燈 (CCFL) 照明，這種替代白熾燈和其它傳統(tǒng)燈具技術(shù)的常規(guī)照明技術(shù)的應(yīng)用和采用正在加速發(fā)展到一個(gè)大規(guī)模采用的階段。