傳感器mems測量精 文章 進入傳感器mems測量精技術(shù)社區(qū)
MEMS提高醫(yī)療設(shè)備流量測量精度
- 流量傳感器是眾多醫(yī)療設(shè)備的關(guān)鍵器件,它被用來監(jiān)視氣體輸出量以確保流量精確。目前可用的流量傳感技術(shù)主要包括壓差傳感、正排量傳感及葉輪傳感。與那些不包含集成的信號放大與溫度補償電路的測量元件,微機電系統(tǒng)(MEMS)...
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傳感器mems測量精介紹
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