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光刻膠剝離文章進入光刻膠剝離技術社區(qū)

Mattson Technology獲得光刻膠剝離系統(tǒng)新訂單

　　先進半導體工藝設備供應商Mattson Technology日前宣布從一家亞洲新客戶處獲得了Suprema光刻膠剝離系統(tǒng)訂單。該系統(tǒng)可用于先進邏輯器件生產，包括前端工藝及后端工藝。預計這些系統(tǒng)將于第四季度出貨。
關鍵字： Mattson 光刻膠剝離

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光刻膠剝離介紹

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