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          突破性的 KLA-Tencor 技術--通過識別可印刷缺陷實現(xiàn)高等級光罩檢測

          •   【加州圣何塞市 2008 年 4 月 24 日訊】KLA-Tencor 公司(納斯達克股票代碼:KLAC)今天推出其稱為“晶片平面光罩檢測” (Wafer Plane Inspection, WPI) 的最新光罩檢測技術。該技術系業(yè)界首次在單一系統(tǒng)上提供既可查找光罩上的所有缺陷,又能顯示只印刷在晶片上的缺陷的多功能性,堪稱獨一無二的光罩檢測突破性技術。WPI不但征服了對優(yōu)良率至關重要的 32 納米光罩缺陷檢測的挑戰(zhàn),它的運行速度也比先前的檢測系統(tǒng)快達40%,從而有望縮短檢測光罩
          • 關鍵字: KLA-Tencor   光罩檢測  32 納米  
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          光罩檢測介紹

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