助力提升芯片質(zhì)量和產(chǎn)量，半導體工藝監(jiān)測中的光譜應用

• 根據(jù)檢測工藝所處的環(huán)節(jié)，IC集成電路檢測被分為設計驗證、前道量檢測和后道檢測。前道量測、檢測均會用到光學技術和電子束技術，其中光學量測通過分析光的反射、衍射光譜間接進行測量，其優(yōu)點是速度快、分辨率高、非破壞性。后道檢測工藝是芯片生產(chǎn)線的“質(zhì)檢員”，根據(jù)工藝在封裝環(huán)節(jié)的前后順序，后道檢測可以分為CP測試和FT測試。在以上測試中，光譜儀可以用于膜厚測量、蝕刻終點監(jiān)控等工藝中。(一)膜厚測量半導體集成電路的生產(chǎn)以數(shù)十次至數(shù)百次的鍍膜、光刻、蝕刻、去膜、平坦等為主要工序，膜層的厚度、均勻性等直接影響芯片的質(zhì)量和產(chǎn)
• 關鍵字： 膜厚測量  海洋光學  半導體工藝監(jiān)測  光譜應用