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IEDM的初體驗
- 歷史長達53年的IEDM(InternationalElectronDevicesMeeting)是IEEE旗下的王牌會議之一。微系統所的研究人員將STI(淺槽隔離)技術加以變化后運用到單晶圓MEMS的制作上,發(fā)展出一種溝槽-側墻(Trench-Sidewall)技術。
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初體驗體介紹
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