工信部推廣國(guó)產(chǎn)DUV光刻機(jī)，最小套刻精度≤8nm

• 大半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)消息，自中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部官網(wǎng)獲悉，日前，工信部宣布印發(fā)《首臺(tái)（套）重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄（2024 年版）》。其中，在《首臺(tái)（套）重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄（2024年版）》電子專用裝備目錄下，集成電路設(shè)備方面包括：氟化氬光刻機(jī)，光源193納米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm。在“工信微報(bào)”官方公眾號(hào)中提到，重大技術(shù)裝備是國(guó)之重器，事關(guān)綜合國(guó)力和國(guó)家安全。中國(guó)首臺(tái)（套）重大技術(shù)裝備是指國(guó)內(nèi)實(shí)現(xiàn)重大技術(shù)突破、擁有知識(shí)產(chǎn)權(quán)、尚未取得明顯市場(chǎng)業(yè)績(jī)的裝備產(chǎn)品，包括整機(jī)設(shè)備、核心系
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