耗時(shí)超四年迎曙光 國產(chǎn)光刻膠再迎重大進(jìn)展

• 繼中芯國際續(xù)單ASML光刻機(jī)后，國產(chǎn)半導(dǎo)體光刻膠領(lǐng)域再迎喜訊。周一（8日）盤后，上海新陽公告稱，經(jīng)各方積極協(xié)商、運(yùn)作，ASML-1400光刻機(jī)設(shè)備于今日已進(jìn)入合作方北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心（北京）有限公司場地，后續(xù)將進(jìn)行安裝調(diào)試等相關(guān)工作。公司采購的ASML干法光刻機(jī)設(shè)備順利交付，對加快193nm ArF干法光刻膠產(chǎn)品開發(fā)進(jìn)度有積極影響。值得一提的是，天眼查顯示，合作方北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心（北京）有限公司大股東為芯鏈融創(chuàng)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展（北京）有限公司，后者由北京凱世通半導(dǎo)體有限公司在內(nèi)的26個(gè)國內(nèi)半
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