埋柵型靜電感應(yīng)器件研制中的外延技術(shù)

• 0 引言 　　靜電感應(yīng)晶體管SIT是一種結(jié)構(gòu)靈敏的器件，也是具有類真空三極管特性的新型電力半導(dǎo)體器件，一般為常開(kāi)型器件。從結(jié)構(gòu)上說(shuō)SIT與一般場(chǎng)效應(yīng)晶體管FET相似，但溝道更窄、更短，具有其他半導(dǎo)體器件無(wú)法比擬的一系列優(yōu)點(diǎn)，如優(yōu)異的高頻特性和高速開(kāi)關(guān)特性，無(wú)電流集中，耐擊穿強(qiáng)度高，驅(qū)動(dòng)功率小，屬于電壓驅(qū)動(dòng)型器件。靜電感應(yīng)晶體管可廣泛應(yīng)用于高速、高壓、低功耗場(chǎng)合。就大功率上有高頻感應(yīng)加熱，在高頻上應(yīng)用有中波廣播發(fā)射機(jī)，在低功耗應(yīng)用方面有叉車的速度控制器，在小功率應(yīng)用方面有顯示器CTR的驅(qū)動(dòng)等。另外還有不停
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