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國(guó)產(chǎn)光刻膠通過量產(chǎn)驗(yàn)證

據(jù)中國(guó)光谷官微消息，近日，武漢太紫微光電科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱“太紫微公司”）推出的T150 A光刻膠產(chǎn)品，已通過半導(dǎo)體工藝量產(chǎn)驗(yàn)證，實(shí)現(xiàn)配方全自主設(shè)計(jì)，有望開創(chuàng)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體光刻制造新局面。據(jù)悉，該產(chǎn)品對(duì)標(biāo)國(guó)際頭部企業(yè)主流KrF光刻膠系列。相較于被業(yè)內(nèi)稱之為“妖膠”的國(guó)外同系列產(chǎn)品UV1610，T150 A在光刻工藝中表現(xiàn)出的極限分辨率達(dá)到120nm，且工藝寬容度更大，穩(wěn)定性更高，堅(jiān)膜后烘留膜率優(yōu)秀，其對(duì)后道刻蝕工藝表現(xiàn)更為友好，通過驗(yàn)證發(fā)現(xiàn)T150 A中密集圖形經(jīng)過刻蝕，下層介質(zhì)的側(cè)壁垂直度表現(xiàn)優(yōu)異。據(jù)了
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10 月 15 日消息，據(jù)武漢東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)管理委員會(huì)（中國(guó)光谷）今日消息，光谷企業(yè)在半導(dǎo)體專用光刻膠領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)重大突破：武漢太紫微光電科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱“太紫微公司”）推出的 T150 A 光刻膠產(chǎn)品，已通過半導(dǎo)體工藝量產(chǎn)驗(yàn)證，實(shí)現(xiàn)配方全自主設(shè)計(jì)，有望開創(chuàng)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體光刻制造新局面。中國(guó)光谷官方介紹稱：“該產(chǎn)品對(duì)標(biāo)國(guó)際頭部企業(yè)主流 KrF 光刻膠系列。相較于被業(yè)內(nèi)稱之為‘妖膠’的國(guó)外同系列產(chǎn)品 UV1610，T150 A 在光刻工藝中表現(xiàn)出的極限分辨率達(dá)到 120nm，且工藝寬容度更大，穩(wěn)定性更高，堅(jiān)
關(guān)鍵字：光刻膠半導(dǎo)體太紫微光電

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