EEPW首頁(yè) >>
主題列表 >>
射頻源
射頻源 文章 進(jìn)入射頻源技術(shù)社區(qū)
射頻源控制信號(hào)模擬器的設(shè)計(jì)與應(yīng)用
- 摘要：熟悉微電子工藝設(shè)備的人都知道，射頻源(RFGENERATER)是半導(dǎo)體工藝不可缺少的設(shè)備，其主要應(yīng)用于等離子體干法刻蝕設(shè)備?！ ∈煜の㈦娮庸に囋O(shè)備的人都知道，射頻源(RFGENERATER)是半導(dǎo)體工藝不可缺少的設(shè)備，其主要應(yīng)用于等離子體干法刻蝕設(shè)備。其原理是刻蝕氣體(主要是F基和C1基的氣體)通過(guò)氣體流量控制系統(tǒng)通入反應(yīng)腔室，在高頻電場(chǎng)(頻率通常為13.56MHz)作用下產(chǎn)生輝光放電，使氣體分子或原子發(fā)生電離，形成等離子體(Plasma)。等離子體是包含足夠多的正負(fù)電荷數(shù)目近于相等的帶電粒子的
- 關(guān)鍵字： 射頻源
| 共1條 1/1 1 |
射頻源介紹
您好，目前還沒(méi)有人創(chuàng)建詞條射頻源!
歡迎您創(chuàng)建該詞條，闡述對(duì)射頻源的理解，并與今后在此搜索射頻源的朋友們分享。 創(chuàng)建詞條
歡迎您創(chuàng)建該詞條，闡述對(duì)射頻源的理解，并與今后在此搜索射頻源的朋友們分享。 創(chuàng)建詞條
關(guān)于我們 -
廣告服務(wù) -
企業(yè)會(huì)員服務(wù) -
網(wǎng)站地圖 -
聯(lián)系我們 -
征稿 -
友情鏈接 -
手機(jī)EEPW
Copyright ?2000-2015 ELECTRONIC ENGINEERING & PRODUCT WORLD. All rights reserved.
《電子產(chǎn)品世界》雜志社 版權(quán)所有 北京東曉國(guó)際技術(shù)信息咨詢有限公司
京ICP備12027778號(hào)-2 北京市公安局備案：1101082052 京公網(wǎng)安備11010802012473
Copyright ?2000-2015 ELECTRONIC ENGINEERING & PRODUCT WORLD. All rights reserved.
《電子產(chǎn)品世界》雜志社 版權(quán)所有 北京東曉國(guó)際技術(shù)信息咨詢有限公司
京ICP備12027778號(hào)-2 北京市公安局備案：1101082052 京公網(wǎng)安備11010802012473