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平面集成天線文章進(jìn)入平面集成天線技術(shù)社區(qū)

基于MEMS工藝的八角形前腔亞毫米波集成喇叭天線

亞毫米波平面集成天線在亞毫米波頻段具有其獨(dú)特的優(yōu)勢，然而平面集成天線單元的增益較低，本文研究了一種工作于900GHz的新型的亞毫米波集成喇叭天線，用于增強(qiáng)平面集成天線單元的輻射性能。該喇叭天線的加工綜合運(yùn)用MEMS干法刻蝕和濕法腐蝕兩種工藝，其結(jié)構(gòu)包括棱錐形喇叭背腔和八角形喇叭前腔兩部分，在可實(shí)現(xiàn)的MEMS工藝下，具有可調(diào)參數(shù)多的優(yōu)點(diǎn)。
關(guān)鍵字：亞毫米波平面集成天線 MEMS 集成喇叭天線

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平面集成天線介紹

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