微影設(shè)備 文章 進(jìn)入微影設(shè)備技術(shù)社區(qū)
臺積電取得ASML超紫外光微影設(shè)備以研發(fā)新世代工藝
- TSMC與荷蘭艾司摩爾(ASML)公司今日共同宣布，TSMC將取得ASML公司TWINSCAN™ NXE:3100 - 超紫外光(Extreme Ultra-violet，EUV)微影設(shè)備，是全球六個取得這項(xiàng)設(shè)備的客戶伙伴之一。 這項(xiàng)設(shè)備將安裝于TSMC的超大晶圓廠(GigaFab™)-臺積十二廠，用以發(fā)展新世代的工藝技術(shù)。TSMC也將成為全球第一個可以在自身晶圓廠發(fā)展超紫外光微影技術(shù)的專業(yè)集成電路制造服務(wù)業(yè)者。 相較于現(xiàn)行浸潤式微影技術(shù)以193納米波長當(dāng)作光源，超
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微影設(shè)備介紹
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