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濺射薄膜
濺射薄膜 文章 進(jìn)入濺射薄膜技術(shù)社區(qū)
基于PGA900的薄膜微壓傳感器研究
- 本文基于濺射薄膜技術(shù)研制微壓傳感器，充分發(fā)揮濺射薄膜技術(shù)優(yōu)勢(shì)，通過(guò)改進(jìn)芯體結(jié)構(gòu)解決了輸出靈敏度低的難題。使用PGA900信號(hào)調(diào)理器對(duì)薄膜微壓傳感器進(jìn)行信號(hào)調(diào)理，通過(guò)內(nèi)置算法實(shí)現(xiàn)傳感器溫度補(bǔ)償和性能優(yōu)化。經(jīng)過(guò)試驗(yàn)驗(yàn)證，傳感器的性能穩(wěn)定、輸出特性良好，達(dá)到了同類(lèi)產(chǎn)品的較高水平。
- 關(guān)鍵字： PGA900 微壓傳感器 濺射薄膜 信號(hào)調(diào)理 202201
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濺射薄膜介紹
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