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表面波等離子體激勵(lì)源設(shè)計(jì)
- 摘要：本文設(shè)計(jì)了頻率及輸出功率可調(diào)的表面波等離子體激勵(lì)源， ADF4360-7產(chǎn)生850MHz~950MHz頻率的振蕩信號(hào)， ADL5330、兩級(jí)功率放大器、AD8318和C8051F020控制輸出功率。實(shí)現(xiàn)了表面波等離子體的激發(fā)。關(guān)鍵詞：表面波；等離子體；激勵(lì)源 引言利用微波在介質(zhì)表面激發(fā)出截止密度以上的等離子體，然后微波在介質(zhì)與等離子體間形成表面波的傳輸，具有一定電場(chǎng)強(qiáng)度的表面波在其傳輸?shù)姆秶鷥?nèi)可生成和維持高密度的等離子體，因此稱為表面波等離子體。將微波導(dǎo)入一介質(zhì)管，在介質(zhì)管壁上激發(fā)出表面波傳輸，即
- 關(guān)鍵字： 嵌入式系統(tǒng) 單片機(jī) 表面波 等離子體 激勵(lì)源 測(cè)試測(cè)量
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