絕緣體上硅 文章 進入絕緣體上硅技術(shù)社區(qū)
550V無電壓折回逆導(dǎo)型橫向絕緣柵雙極晶體管器件設(shè)計
- 逆導(dǎo)型橫向絕緣柵雙極晶體管（RC-LIGBT）由于高電流密度、小封裝成本等優(yōu)點，成為了功率器件領(lǐng)域內(nèi)主流器件之一，然而其會受到電壓折回現(xiàn)象的不利影響。本文提出了一種基于絕緣體上硅技術(shù)的RCLIGBT器件，將續(xù)流二極管集成在位于埋氧層下的襯底，利用埋氧層的隔離特性實現(xiàn)了IGBT與續(xù)流二極管之間的電學(xué)隔離，進而實現(xiàn)了完全消除電壓折回現(xiàn)象。
- 關(guān)鍵字： 逆導(dǎo)型橫向絕緣柵雙極晶體管 電壓折回現(xiàn)象 絕緣體上硅 導(dǎo)通壓降 關(guān)斷損耗 202009
一種增大質(zhì)量塊的三軸MEMS加速度計的設(shè)計
- 馮?堃，張國俊，王姝婭，戴麗萍，鐘志親（電子科技大學(xué)?電子科學(xué)與工程學(xué)院，成都611731） 摘?要：介紹了一種增大質(zhì)量塊設(shè)計的三軸MEMS加速度計。該加速度計基于絕緣體上硅（SOI）硅片，采用雙面光刻、干法刻蝕的工藝，利用了部分SOI硅片的底層硅部分來增大加速度計的質(zhì)量塊，設(shè)計了基于單一米字形質(zhì)量塊的三軸MEMS電容式微加速度計。根據(jù)不同的外界加速度對器件產(chǎn)生的不同位移，研究了在三個軸向的加速度計的靈敏度，同時分析了加速度計的交叉軸耦合的影響。最后結(jié)合Ansys仿真結(jié)果得出：所設(shè)計的微加速度計具有
- 關(guān)鍵字： 202005 微機械系統(tǒng) 三微加速度計 高靈敏度 絕緣體上硅
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