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          藍(lán)寶石基LED外延片背減薄與拋光工藝研究

          • 1引言目前在藍(lán)光LED的制備中,通常采用異質(zhì)外延的方法生長(zhǎng)氮化鎵材料。在商品化的LED中,絕大部分采...
          • 關(guān)鍵字: 藍(lán)寶石  LED外延片  背減薄  拋光    
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          背減薄介紹

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