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          隔空觸覺應(yīng)用看漲 imec開發(fā)微型超音波數(shù)組技術(shù)

          • 比利時微電子研究中心(imec),于本周舉行的2022年IEEE國際超音波會議(International Ultrasonics Symposium),展示了新型壓電式微型超音波換能器(pMUT)數(shù)組,它能與平面顯示器(FPD)制程技術(shù)兼容。新型數(shù)組可以隔空感測高于1kPa的聲壓,滿足隔空觸覺與指向聲波應(yīng)用。 (A)包含22個直徑為500μm環(huán)形pMUT的相控數(shù)組大范圍影像(B)細(xì)部影像此次開發(fā)的pMUT技術(shù)不再聚焦晶圓制程,而是朝向與平面顯示器技術(shù)兼容的方向發(fā)展,方便將來與隔空感測應(yīng)用整合,
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          超音波數(shù)組介紹

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