ASYST推出AMHS新方案增加晶圓廠的生產(chǎn)力

• 　　具有競爭力的晶圓廠必須一方面做到高設(shè)備利用率，一方面又使處于制程中的晶圓量維持在最低，同時(shí)還必須讓晶圓生產(chǎn)周期壓縮到最短。這兩項(xiàng)要求可能互相抵觸。而解決的關(guān)鍵是不要讓簡稱為「AMHS」的「自動物料處理系統(tǒng)」成為晶圓處理過程中的瓶頸，限制了晶圓廠的表現(xiàn)。 　　為半導(dǎo)體及平面顯示器制造廠提供整合式自動化解決方案領(lǐng)導(dǎo)供貨商ASYST今天宣布推出Agile Automation,這是一種在半導(dǎo)體晶圓廠新的自動化物料處理（Automated Material Handling）方式。 　　Agile A
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