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          韓國(guó)SK Materials量產(chǎn)高純度氟化氫,加速半導(dǎo)體材料國(guó)產(chǎn)化

          • 韓國(guó)SK集團(tuán)17日表示,半導(dǎo)體材料生產(chǎn)企業(yè)SK Materials近期開始量產(chǎn)超高純度(純度99.999%)氟化氫氣體。據(jù)韓國(guó)國(guó)際廣播電臺(tái)報(bào)道,去年日本對(duì)韓國(guó)采取出口限制措施后,韓國(guó)企業(yè)開始自主生產(chǎn)半導(dǎo)體材料并快速取得成果。韓國(guó)SK集團(tuán)17日表示,半導(dǎo)體材料生產(chǎn)企業(yè)SK Materials近期開始量產(chǎn)超高純度(純度99.999%)氟化氫氣體。超高純度氟化氫氣體是日本限制向韓國(guó)出口的項(xiàng)目之一,在半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)中用于清洗,海外依存度曾達(dá)100%。氟化氫被用于晶圓的清洗等方面。在高純度的氟化氫市場(chǎng),日本廠商大約
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