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半導(dǎo)體商Entegris 推出下一代450mm晶圓承載盒

　　高度先進(jìn)制造環(huán)境提升產(chǎn)量材料與解決方案的領(lǐng)導(dǎo)廠(chǎng)商Entegris,Inc.，推出了下一代450mm晶圓承載盒解決方案(P2)，這個(gè)解決方案能夠安全可靠地運(yùn)輸半導(dǎo)體制程所需的450mm晶圓，供應(yīng)至世界各地。450mmP2晶圓承載盒精確符合450mm設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)、微粒產(chǎn)生量，且可減少清潔循環(huán)時(shí)間，可有效運(yùn)送及處理SEMI?M1標(biāo)準(zhǔn)晶圓。　　Entegris資深執(zhí)行副總兼營(yíng)運(yùn)長(zhǎng)ToddEdlund表示，當(dāng)產(chǎn)業(yè)改用450mm晶圓，制造商也須面對(duì)處理晶圓的新挑戰(zhàn)，以保持制造SEMI標(biāo)準(zhǔn)M1品質(zhì)晶圓所需的潔凈度。
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　　Entegris, Inc.，一家為先進(jìn)制造環(huán)境提供良率提升材料和相關(guān)解決方案的領(lǐng)先企業(yè)，日前發(fā)布了 VaporSorb™ 系列氣體分子污染 (AMC) 過(guò)濾器的新產(chǎn)品。此款新型的“多合一”單過(guò)濾器可在半導(dǎo)體制造的化學(xué)機(jī)械研磨 (CMP) 工藝中去除關(guān)鍵 AMC。領(lǐng)先的過(guò)濾器品牌 VaporSorb 在半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵步驟中主要用于潔凈室環(huán)境和生產(chǎn)機(jī)臺(tái)，是面向 CMP 生產(chǎn)機(jī)臺(tái)的首款過(guò)濾器，可抵御弱酸以及其他污染物。　　此款新型過(guò)濾器專(zhuān)為 CMP 機(jī)臺(tái)設(shè)計(jì)，可為
關(guān)鍵字： Entegris 半導(dǎo)體 VaporSorb

　　Entegris Inc.是一家為先進(jìn)制造環(huán)境提供良率提升材料和解決方案的領(lǐng)先企業(yè),公司今日發(fā)布了 VaporSorb 系列氣體分子污染 (AMC) 過(guò)濾器的衍生產(chǎn)品。VaporSorb 是領(lǐng)先的過(guò)濾器品牌，在半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵步驟中主要用于潔凈室環(huán)境和生產(chǎn)機(jī)臺(tái)。VaporSorb 過(guò)濾器已發(fā)展為捕獲氣體有機(jī)物、堿基類(lèi)和強(qiáng)酸的一體式過(guò)濾器。新型 VaporSorb TRK 添加了獨(dú)特材料，是首款不僅能夠捕獲三大核心污染物，而且還能捕獲第四類(lèi)污染物(定義為弱酸的一組污染物)的過(guò)濾器。　　此款新型過(guò)濾器
關(guān)鍵字： Entegris VaporSorb 過(guò)濾器

　　Entegris4月12日宣布，將在馬薩諸塞州貝德福德建立專(zhuān)注于先進(jìn)材料科學(xué)的Entegris i2M 中心(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“i2M 中心”)。　　該i2M 中心將成為新英格蘭具有領(lǐng)導(dǎo)地位的研發(fā)和制造中心之一，專(zhuān)注于過(guò)濾介質(zhì)、靜電夾鉗(靜電吸盤(pán))和受到專(zhuān)利保護(hù)的先進(jìn)的低溫涂層。這些技術(shù)對(duì)于研制諸多關(guān)鍵部件必不可少，這些部件將用于世界上要求最嚴(yán)格的半導(dǎo)體制造業(yè)。Entegris的產(chǎn)品可以將污染物控制在小至只能以原子的寬度進(jìn)行測(cè)量的納米水平。憑借著 Entegris 的產(chǎn)品可以生產(chǎn)先
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　　中國(guó)上海/明尼蘇達(dá)州明尼阿波利斯 CHASKA – 2006年 3 月 22日訊 - Entegris, Inc.（納斯達(dá)克：ENTG）將攜其業(yè)界領(lǐng)先的晶片和光罩處理產(chǎn)品參加本周在上海舉行的 SEMICON China 2006 展覽會(huì)（3 月 21 日 – 23 日）。Entegris 將在本周的展會(huì)上展示其四種領(lǐng)先的產(chǎn)品，它們分別是 300 毫米 FOSB（前面開(kāi)口傳輸盒）、Spectra™ FOUP （前面開(kāi)口一體盒）和 SMP 625 單光罩包裝盒以及高級(jí)光罩 SMIF
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