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	mems傳感器
          

          
	
          
    	
          
    	  	
          
              	
                                
          
                  

                                
          
                    
          傳感器接口標(biāo)準(zhǔn)最新進展
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          空心軸不帶內(nèi)置軸承的角度編碼器
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          發(fā)動機燃燒過程監(jiān)測和氣缸蓋墊壓力傳感器
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          TMP05/06型溫度傳感器及其應(yīng)用
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          電容式液位變送器在合成高壓液位測控中的作用
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          非接觸位移測量的直線位移傳感器
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          光柵莫爾條紋技術(shù)的發(fā)展
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          一種硬件細(xì)分方法的研究與應(yīng)用
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          光纖傳感器的今日與發(fā)展
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          一種新型懸浮陀螺式質(zhì)量流量計的研究
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          傳感器技術(shù)在生產(chǎn)實踐中的應(yīng)用
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          基于DSP的陀螺加速度計數(shù)字伺服回路研究
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          氣體傳感器在氣體泄漏事故處置中的應(yīng)用
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          智能自動化及其在儀器儀表中的應(yīng)用
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          傳感器在設(shè)施農(nóng)業(yè)中的應(yīng)用
          
                                                            
                    
          
                
          
                                                

                
          
	                
          
		                	
          
	
          
	共227條
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          mems傳感器介紹
          
      			
          
		      	
          
		      			      			      	       MEMS(Micro-Electro-mechanical Systems)是微機電系統(tǒng)的縮寫。MEMS主要包括微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器和相應(yīng)的處理電路等幾部分，它是在融合多種微細(xì)加工技術(shù)，并應(yīng)用現(xiàn)代信息技術(shù)的最新成果的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的高科技前沿學(xué)科。
      MEMS技術(shù)的發(fā)展開辟了一個全新的技術(shù)領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè)，采用MEMS技術(shù)制作的微傳感器、微執(zhí)行器、微型構(gòu)件、微機械光		      	[ 查看詳細(xì) ]
		      			      	
          
    		
          
  		
          
  		  		  		  		
  		  		  		            
        		  		
          
    		
          
      			
          
        			
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