超聲電機(jī)是基于壓電現(xiàn)象產(chǎn)生超聲駐波的原理而開發(fā)的，應(yīng)用于運(yùn)動(dòng)控制領(lǐng)域的精密電機(jī)。與傳統(tǒng)電機(jī)相似，具有高分辨率和壓電驅(qū)動(dòng)裝置的動(dòng)態(tài)特性。給超聲波電機(jī)輸入驅(qū)動(dòng)電壓后，壓電材料產(chǎn)生壓電現(xiàn)象，同時(shí)發(fā)生的縱向延伸和橫向彎曲模式的激勵(lì)在陶瓷指尖的狹小的橢圓通道里產(chǎn)生二維聲波，從而產(chǎn)生驅(qū)動(dòng)力進(jìn)行直線或旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。

超聲電機(jī)具有定位精確，分辨率可達(dá)1μm，精度10nm，運(yùn)動(dòng)速度平穩(wěn)，低10μm/s，高250mm/s，標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)答時(shí)間為50～75μs，整定時(shí)間明顯優(yōu)于一般伺服電動(dòng)機(jī)，以0.1μm的分辨率為例，只需1～2ms，為一般伺服電動(dòng)機(jī)的1/10，定位后沒(méi)有一般伺服電動(dòng)機(jī)存在的晃動(dòng)問(wèn)題，而且超聲波電機(jī)具有重量輕，體積小，精度高等特點(diǎn)。

什么是音圈電機(jī)？音圈電機(jī)是一種特殊形式的直接驅(qū)動(dòng)電機(jī)，能將電能直接轉(zhuǎn)化成直線運(yùn)動(dòng)機(jī)械能而不需要任何中間轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)的傳動(dòng)裝置。其原理是在均勻氣隙磁場(chǎng)中放入一圓筒狀繞組，繞組通電產(chǎn)生電磁力帶動(dòng)負(fù)載作直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)，改變電流的強(qiáng)弱和極性，就可改變電磁力的大小和方向。

音圈電機(jī)是一種反應(yīng)頻率快的直驅(qū)式電機(jī)，分圓柱音圈電機(jī)，擺角音圈電機(jī)，矩型音圈電機(jī)。音圈電機(jī)具有零磁滯、零磁槽效應(yīng)，高響應(yīng)，高精度，高加速，高速度，力特性好，控制方便，體積小和分辨率無(wú)限小等優(yōu)點(diǎn)。

根據(jù)驅(qū)動(dòng)、反饋、控制器和控制算法等配置高低，音圈電機(jī)一般可以達(dá)到500-1000Hz的運(yùn)動(dòng)頻率，甚至更高。