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          美泰電子RF MEMS 器件

          發(fā)布人:傳感器技術(shù) 時間:2021-08-24 來源:工程師 發(fā)布文章

          美泰電子科技有限公司

          美泰電子科技有限公司是中國MEMS行業(yè)協(xié)會理事長單位。專門致力于MEMS(微電子機械系統(tǒng))器件與系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。是國內(nèi)最大的MEMS高端核心芯片、器件和系統(tǒng)產(chǎn)品供應(yīng)商,中國MEMS技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)者。主要產(chǎn)品有MEMS慣性器件與系統(tǒng)、MEMS測試測量傳感器、MEMS壓力傳感器芯片、汽車MEMS傳感器、射頻(RF)MEMS器件、光MEMS器件等。      
              

          公司擁有國際先進水平的6英寸MEMS工藝線和世界領(lǐng)先的產(chǎn)品測試標(biāo)定設(shè)備,是國家高新技術(shù)企業(yè)、科技部重大科學(xué)儀器專項資助單位。


          RF MEMS 器件

          全球首家推出采用高精度微納立體加工、硅圓片直接鍵合、TSV(硅通孔)等MEMS技術(shù)制作的新一代硅腔濾波器芯片,擁有超小體積與重量、多層全屏蔽、抗干擾卓越的微波性能,低損耗、高抑制、為微波毫米波系統(tǒng)小型化提供了新選擇。產(chǎn)品頻率范圍覆蓋2~50GHz,具有帶通、帶阻、窄帶、寬帶、超寬帶多個系列。廣泛應(yīng)用于雷達、微波通訊、電子系統(tǒng)等領(lǐng)域。


          1、MEMS 環(huán)行器

           

           

          特點

          硅腔體結(jié)構(gòu),體積超小
          高功率容量

          50Ω微帶共面波導(dǎo)輸出,鍵合使用

          頻率:12~40GHz
          MEMS工藝,精度高,一致性好
          可按要求加工定制
           

          環(huán)境參數(shù)

          工作溫度:-55~+85°C

          儲存溫度:-55~+125°C


          典型應(yīng)用

          雷達、航天航空、微波通信


          2、MEMS 隔離器

          特點:

          硅腔體結(jié)構(gòu),體積超小
          高功率容量

          50Ω微帶/共面波導(dǎo)輸出,鍵合使用
          頻率:12~40GHz

          MEMS工藝,精度高,一致性好
          可按要求加工定制


          環(huán)境參數(shù)
          工作溫度:-55+85°C

          儲存溫度:-55+125°C

          典型應(yīng)用
          雷達、航天航空,微波通信 


          3、MEMS 硅腔濾波器

          特點:
          硅基MEMS工藝,體積小、重量輕

          頻率:2~50GHz

          高性能、全屏廠、抗干擾、微波性能好

          裸芯片,50Ω共面波導(dǎo)輸出,鍵合使用

          帶通、帶阻、低通、高通
          指標(biāo)一致性好,適合批產(chǎn)


          環(huán)境參數(shù)
          工作溫度:-55~+85°C
          貯存溫度:-55~+125°C

          平均功率:≤3W(連續(xù)波)


          典型應(yīng)用
          雷達、航天航空,電子系統(tǒng)


          4、微集成 LC 濾波器

          特點:

          硅基MEMS微納米技術(shù)
          命體積小、成本低
          加厚介質(zhì)膜工藝,防靜電能力強、可靠性高

          可鍵合、表貼使用,滿足用戶不同安裝要求
          加工周期短,部分取代LTCC產(chǎn)品
          較MMIC產(chǎn)品有更高Q值 


          環(huán)境參數(shù)
          工作溫度:-55~+85°C
          貯存溫度:-55~+125°C
          平均功率:1Wmax@25°C
           
          電性能規(guī)范
          中心頻率:0.5-20GHz
          健合型微集成LC法
          1db分數(shù)帶寬:10-100%
          VSWR: 16.1 :1
          特性阻抗:50Ω


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          美泰電子科技有限公司

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          電話:0311-83933866、3867

          傳真:0311-83933867

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          網(wǎng)站:www.mtmems.com


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