1.定位精度

精度方面直線電機傳動機構鑒定減少了插補滯后的問題，定位精度、重現(xiàn)精度、絕對精度，通過位置檢測反饋控制都會較“旋轉電機+滾珠絲桿”高，且容易實現(xiàn).

2.重復精度對比

直線電機機構簡單，減少插補滯后的問題，相反銀絲桿的間隙容易產生影響，所以直線電機更容易實現(xiàn)。

3.速度比較

一般伺服電機由于離心力的作用，高速運作時，將受到較大應力，因此轉速和輸出功率受到限制。相對而言，直線電機不受限制，機械損耗也較少，從而提高傳動速度。

4.行程對比

從行程來看，直線電機的行程取決于定子和動子，理論來說直線電機行程可以無限延長；而伺服電機+絲桿由于承受負載、絲桿外徑、精度等級等因素的影響，通常只能達到4M的長度。

5.維護簡單

直線電機部件少，運動機械無接觸，很少甚至無需維護。伺服電機絲桿結構多，部件多，需經常維護或更換配件。

6.壽命對比

直線電機：直線電機因運動部件和固定部件間無直接接觸，不會因動子的高速運動而磨損即使長時間運用對運動精度無變化，故壽命更長。

伺服電機+絲桿：滾珠絲桿因高速運動造成傳動部件的磨損，同時無法再高速往復運動中確保精度，從而影響精度。