去年5月曝光的三星電子旗下半導體設備公司——SEMES公司前員工等7人因涉嫌將SEMES開發(fā)的半導體清洗設備技術出售給中國企業(yè)而被起訴的案件又有了新進展。

1月17日消息，據韓國媒體報道，韓國水原地方檢察廳16日宣布，已起訴包括三星電子旗下半導體設備公司——SEMES公司前研究人員，以及此次技術泄漏事件經紀人在內的五人，他涉嫌將SEMES開發(fā)的半導體清洗設備技術出售給中國企業(yè)，違反了韓國《產業(yè)技術保護法》和《防止不正當競爭法》。在這五人中，有四人被捕，一人由于是被煽動而沒有被拘留。

△2020年6月，三星電子董事長李在镕視察SEMES天安工廠的生產線

報道稱，此次被正式起訴的五人包括一名前SEMES員工，他于2016年退出公司，并于2019年創(chuàng)辦了自己的公司。他涉嫌于2021年6月將通過將SEMES合作伙伴公司的首席執(zhí)行官獲得的“超臨界半導體清洗設備”的關鍵圖紙交給技術泄漏經紀人。隨后該經紀人將圖紙泄露給了中國廠商。

調查人員發(fā)現，這位前SEMES員工和其他人在2019年12月至2022年7月期間通過出口20臺清潔設備與相關技術一同出售給了中國企業(yè)及研究機構，從中獲取了1193億韓元（約合人民幣6.5億元）的報酬。

去年曝光的消息顯示，這位前SEMES員工及相關人員在盜取SEMES公司技術后，制成14臺相同配置的半導體清洗設備，與相關技術一同出售給了中國企業(yè)及研究機構，從中獲取了710億韓元，約合人民幣3.7億元的報酬。

據SEMES官網介紹，其SUPER CRYSTAL系列清洗機是世界第一臺超臨界設備，采用無傾斜技術（高萃取/高溶解度），具備高通量和穩(wěn)定性，能夠去除19nm的顆粒。

△Semes的晶圓清洗機

報道稱，“從2009年到2021年，SEMES在超臨界技術的研發(fā)上投入了約350億韓元，”一位檢方官員說?！斑@一泄密造成了超過350億韓元的直接損失。人們擔心，如果SEMES的訂單由于公司技術實力下降而僅下降10%，那么SEMES每年將遭受超過400億韓元（約合人民幣2.2億元）的損失。

對于具體是哪家中國企業(yè)涉及其中，相關報道及檢方披露的資料并未顯示。由此，也引發(fā)了國內投資者的關注和猜測。去年6月1日，盛美上海在投資者互動平臺就回應投資者提問時稱：“盛美上海及控股子公司與該事件完全無關?！?/p>

此外，這位前SEMES員工還被指控與另一名前SEMES 研究員合謀，將SEMES 于 2021年在全球第二次開發(fā)的單晶圓磷酸鹽清潔設備的信息泄露給自己離職后創(chuàng)立的公司的員工，后者也被逮捕和起訴。單晶圓磷酸鹽清洗設備用磷酸溶液逐一清洗半導體。它用于去除殘留在晶圓表面上的二氧化硅。

報道稱，世界上只有兩家公司成功開發(fā)了這種設備——韓國的SEMES和日本的Shibaura（芝浦）。

去年5月，這名前SEMES員工因向中國泄露SEMES濕式半導體清洗設備的信息而被捕并被起訴一次。去年11月，由于逮捕期屆滿，他被取保候審，沒有拘留，但隨著檢方發(fā)現額外的技術泄露案（單晶圓磷酸鹽清潔設備技術竊密），他再次被監(jiān)禁。

資料顯示，SEMES由三星電子于1993年成立，是生產半導體和顯示器制造設備的重要子公司。

目前，Semes的產品主要包括半導體前道工序領域的清洗（LOTUS、BLUEICE PRIME）、Phototrack（OMEGA-S、OMEGA-K）、蝕刻（Michelan O3、Michelan C4）設備，還有后道工序的Bonder、Probe、Test Handler等設備。

根據官網公布的數據顯示，SEMES在2021年全年的收入為3.12萬億韓元（約人民幣162億元），營業(yè)利潤為3533億韓元。與2020年相比，收入和營業(yè)利潤也分別增長了41%和24%。其中，晶圓廠設備占Semes的2021年收入的75%，而平板顯示設備占比1.7%。2020年，晶圓廠設備占其年收入的61.24%，而平板顯示設備占比9.9%。該公司的目標是到2030年營收達到5萬億韓元（約合人民幣273.1億元）。

根據Gartner的數據顯示，在2019年的全球半導體清洗設備市場，日本迪恩士（DNS）、日本東京電子（TEL）、韓國SEMES和美國泛林集團（Lam research）分別占據了45.10%、25.30%、14.80%和12.50%的市場。