艾新博盛投資合伙人 曹幻實(shí) （左） 財(cái)盈半導(dǎo)體董事長(zhǎng) 張德才（右）

• 談現(xiàn)狀：半導(dǎo)體設(shè)備零部件是典型的‘以小制大’卡脖子環(huán)節(jié)

• 談成本：僅僅射頻電源和匹配器就能占到一臺(tái)設(shè)備總成本的12%左右

• 談未來(lái)：國(guó)產(chǎn)替代需求強(qiáng)勁，企業(yè)應(yīng)努力適應(yīng)多產(chǎn)品線的研發(fā)及管理

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大咖談芯 | 從拆解維修走向?qū)＞匦?，?cái)盈談半導(dǎo)體設(shè)備零部件中射頻電源的應(yīng)用與前景

談現(xiàn)狀：半導(dǎo)體設(shè)備零部件

是典型的‘以小制大’卡脖子環(huán)節(jié)

幻實(shí)（主播）：歡迎大家關(guān)注芯片揭秘，我是主播幻實(shí)，本期節(jié)目我們邀請(qǐng)到上海市財(cái)盈半導(dǎo)體的董事長(zhǎng)張德才先生，請(qǐng)張總跟大家打個(gè)招呼。

張德才（嘉賓）：芯片揭秘的聽(tīng)眾朋友們大家好。

幻實(shí)（主播）：我們知道半導(dǎo)體的材料、設(shè)備都是國(guó)內(nèi)現(xiàn)在非常短缺的一種資源，您一直服務(wù)于半導(dǎo)體的設(shè)備商，幫他們?nèi)ソ鉀Q應(yīng)用的問(wèn)題，對(duì)國(guó)產(chǎn)的設(shè)備的現(xiàn)狀是比較了解的。就您的觀察來(lái)看，目前國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備零部件的現(xiàn)狀如何？國(guó)產(chǎn)化的情況怎樣？我們是否存在國(guó)產(chǎn)替代的這種突破口？

歷年全球半導(dǎo)體設(shè)備銷(xiāo)售額（億美元） （圖源：財(cái)盈半導(dǎo)體提供）

張德才（嘉賓）：由于全球芯片短缺，以及隨之引發(fā)的擴(kuò)產(chǎn)浪潮，現(xiàn)在設(shè)備的需求非常旺盛，供不應(yīng)求。去年全球半導(dǎo)體設(shè)備的銷(xiāo)售總額達(dá)到了1026億美元，相較于前年增長(zhǎng)了44%。中國(guó)是半導(dǎo)體設(shè)備最大的市場(chǎng)，購(gòu)買(mǎi)了將近全球1/3的半導(dǎo)體設(shè)備，國(guó)內(nèi)的增長(zhǎng)達(dá)到了58%。我們國(guó)產(chǎn)化設(shè)備的起步比較晚，國(guó)產(chǎn)化率還是比較低，總體上各種設(shè)備加起來(lái)總國(guó)產(chǎn)化率在13%左右，而且集中在中低端的設(shè)備。全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)呈現(xiàn)出一種高度壟斷的格局，在中美貿(mào)易摩擦、技術(shù)限制的情況下，國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程也在加快并取得了一定的成果，但是這離實(shí)現(xiàn)完全自主可控還是有比較大的距離。

幻實(shí)（主播）：您剛剛說(shuō)目前國(guó)產(chǎn)化率在13%，已經(jīng)把海內(nèi)外的差距說(shuō)出來(lái)了，其實(shí)也意味著替代空間挺大的。

張德才（嘉賓）：是的。半導(dǎo)體設(shè)備主要包括晶圓加工的前道設(shè)備以及封裝測(cè)試的后道設(shè)備。我們關(guān)注的點(diǎn)在前道設(shè)備上，比如大家都熟知的光刻機(jī)，除此之外生產(chǎn)過(guò)程中還會(huì)遇到其他的設(shè)備，像涂膠顯影、等離子刻蝕機(jī)，薄膜沉積的PVD\CVD設(shè)備，以及化學(xué)機(jī)械研磨、離子注入機(jī)、濕法清洗機(jī)、熱處理機(jī)等等。

我們知道設(shè)備是由零部件組成的，由于對(duì)設(shè)備的需求旺盛，進(jìn)一步地向上游延伸，帶動(dòng)了設(shè)備零部件的供不應(yīng)求，交貨期大多數(shù)延長(zhǎng)到12-15個(gè)月。

半導(dǎo)體設(shè)備分類(lèi) （圖源：財(cái)盈半導(dǎo)體提供）

幻實(shí)（主播）：是不是因?yàn)楹芏嗔悴考?yīng)不上，所以設(shè)備交不了貨，導(dǎo)致產(chǎn)能出不來(lái)？

張德才（嘉賓）：這里講的交貨期是指零部件的交貨期。實(shí)際上整機(jī)的交貨期也被拉長(zhǎng)，我們知道一個(gè)設(shè)備它有很多的零件，但凡一個(gè)零件缺乏，整體也出不了廠。

幻實(shí)（主播）：跟汽車(chē)很相似。

張德才（嘉賓）：大家日常生活里接觸汽車(chē)比較多，缺乏零部件會(huì)導(dǎo)致汽車(chē)的交付出現(xiàn)問(wèn)題。設(shè)備雖然沒(méi)有那么大的覆蓋面，但也面臨著同樣的問(wèn)題。部分零部件的短缺導(dǎo)致很多國(guó)產(chǎn)設(shè)備廠商采取3-4倍的超前采購(gòu)策略，比如北方華創(chuàng)去年的采購(gòu)總額就高達(dá)176億，即使設(shè)備能夠國(guó)產(chǎn)，數(shù)量也遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠。不僅如此，美國(guó)制裁中國(guó)的晶圓制造企業(yè)，部分中國(guó)的設(shè)備廠商也受限于美國(guó)的禁令，其根源還是我們?cè)谝恍╆P(guān)鍵零部件上依賴(lài)于美國(guó)。可以說(shuō)，零部件相較于設(shè)備、整機(jī)而言，市場(chǎng)規(guī)模不算很大，但它是典型的“以小制大”的卡脖子環(huán)節(jié)。

幻實(shí)（主播）：設(shè)備的零部件有哪些？能給我們具體講講嗎？

張德才（嘉賓）：零部件是由零件和部件構(gòu)成的，比如像石英這種材料性質(zhì)的更多屬于零件，而具備功能整合體的屬于部件，像射頻電源、各種泵以及儀器儀表類(lèi)(真空計(jì)、流量計(jì))等，都屬于部件類(lèi)。

半導(dǎo)體主要設(shè)備的零部件種類(lèi) （圖源：財(cái)盈半導(dǎo)體提供）

幻實(shí)（主播）：這些部件和零件開(kāi)發(fā)的難度大嗎？國(guó)產(chǎn)化可能性怎么樣？

張德才（嘉賓）：我認(rèn)為難度和門(mén)檻主要體現(xiàn)在以下幾點(diǎn)：

首先，比較復(fù)雜的電子和機(jī)械產(chǎn)品開(kāi)發(fā)技術(shù)難度較大，精度要求高。比方說(shuō)射頻電源，它直接關(guān)系到腔體中的等離子體濃度、均勻度和穩(wěn)定度，是刻蝕、薄膜沉積CVD等重要機(jī)臺(tái)最關(guān)鍵的零部件之一。去膠機(jī)、離子注入機(jī)和清洗機(jī)也會(huì)使用到射頻電源這個(gè)部件。

傳統(tǒng)的國(guó)產(chǎn)射頻電源主要應(yīng)用在其他工業(yè)低端設(shè)備上，所以不能說(shuō)國(guó)內(nèi)完全沒(méi)有這種產(chǎn)品，只不過(guò)在半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)目前來(lái)看還達(dá)不到應(yīng)用水平。究其原因，主要的技術(shù)難點(diǎn)在于電源的波形和頻率、功率等參數(shù)不夠穩(wěn)定，精度達(dá)不到要求，相較于MKS、AE等國(guó)外企業(yè)仍舊有一定的差距。

幻實(shí)（主播）：這樣說(shuō)來(lái)，我們科研端的高效產(chǎn)品可能都有了，但是到產(chǎn)業(yè)端，需要穩(wěn)定大量的產(chǎn)品持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，反而有了難度。

張德才（嘉賓）：正是如此。其次，產(chǎn)品形成批量應(yīng)用還是困難的。像半導(dǎo)體的真空泵，只有價(jià)格更高的干泵和分子泵才能落實(shí)到實(shí)際生產(chǎn)中，實(shí)現(xiàn)功能，而這并非中國(guó)廠商所長(zhǎng)。真空計(jì)、流量計(jì)也是如此。中國(guó)儀表產(chǎn)業(yè)只能滿(mǎn)足一般類(lèi)型的真空測(cè)量要求，達(dá)不到半導(dǎo)體工藝的高精度要求。

幻實(shí)（主播）：一旦穩(wěn)定性不好，會(huì)直接造成廢片，成本損失太大，大家也不敢用。

張德才（嘉賓）：是，所以半導(dǎo)體的零部件驗(yàn)證周期都是非常長(zhǎng)的，對(duì)材料的要求也比較高。中國(guó)廠商強(qiáng)于加工和成型，但材料產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)還比較薄弱。例如閥、陶瓷等零部件，雖然中國(guó)廠商可以按照?qǐng)D紙做成型，但往往無(wú)法解決材料和表面的處理問(wèn)題，因此發(fā)展受到基礎(chǔ)的制約。此外，市場(chǎng)碎片化也比較明顯。

幻實(shí)（主播）：什么叫做市場(chǎng)碎片化？

張德才（嘉賓）：就是說(shuō)單一產(chǎn)品的市場(chǎng)容量并不大。例如流量計(jì)、密封圈這些零部件，不僅對(duì)精度和材料的要求比較高，同種類(lèi)產(chǎn)品的型號(hào)也是比較多的，不同類(lèi)別之間的工作原理差異顯著。對(duì)此中國(guó)廠商往往興趣不高，動(dòng)力也不足，所以相關(guān)行業(yè)并未得到顯著發(fā)展。

談成本：僅僅射頻電源和匹配器

就能占到一臺(tái)設(shè)備總成本的12%左右

幻實(shí)（主播）：如您所說(shuō)，這就是被市場(chǎng)無(wú)形的手調(diào)控的結(jié)果，做了也賺不到大錢(qián)，還不一定能做出多大的市場(chǎng)空間。但是這種看起來(lái)挺“雞肋”的市場(chǎng)，你們?yōu)槭裁匆x擇進(jìn)來(lái)做？投身這個(gè)領(lǐng)域不覺(jué)得過(guò)于清貧嗎？

張德才（嘉賓）：我們是2005年創(chuàng)立的。創(chuàng)立之初，財(cái)盈專(zhuān)注于工業(yè)控制、自動(dòng)化、數(shù)控設(shè)備的維保解決方案。當(dāng)時(shí)，工業(yè)設(shè)備基本上就是靠從國(guó)外進(jìn)口，國(guó)內(nèi)這一塊相對(duì)來(lái)說(shuō)比較薄弱，缺乏相應(yīng)的技術(shù)支持。那時(shí)候基本不用去跑業(yè)務(wù)，都是客戶(hù)過(guò)來(lái)找我們，例如上海本地的上汽、寶鋼、金山石化等。最初也有半導(dǎo)體客戶(hù)，像比較早的半導(dǎo)體制造公司，華虹NEC、先進(jìn)半導(dǎo)體等。只是那時(shí)整個(gè)半導(dǎo)體的體量還比較小，半導(dǎo)體設(shè)備的技術(shù)支持也非常缺乏。

我們知道半導(dǎo)體零部件的種類(lèi)非常多，我們?cè)诎雽?dǎo)體設(shè)備電控部件這個(gè)領(lǐng)域選擇了射頻電源作為切入口和聚焦點(diǎn)。

幻實(shí)（主播）：之前來(lái)我們節(jié)目的嘉賓講過(guò)很多射頻器件方面的知識(shí)，您能不能也給大家展開(kāi)說(shuō)說(shuō)什么是射頻電源？它應(yīng)用在什么地方？

張德才（嘉賓）：簡(jiǎn)單來(lái)講射頻電源就是產(chǎn)生固定頻率的正弦波、具有一定頻率的高頻/高功率電源輸出，它廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體以及泛半導(dǎo)體領(lǐng)域，比如顯示面板、LED和太陽(yáng)能光伏行業(yè)、新材料，科學(xué)實(shí)驗(yàn)中的等離子體發(fā)生、射頻感應(yīng)加熱、醫(yī)療美容及常壓等離子體消毒清洗等領(lǐng)域。在芯片設(shè)備上主要應(yīng)用于等離子體刻蝕和等離子增強(qiáng)氣相沉積這兩種設(shè)備上。

幻實(shí)（主播）：就是PVD和CVD，對(duì)吧？

薄膜沉積工藝類(lèi)型及原理 （圖源：云岫資本）

張德才（嘉賓）：對(duì)。這兩種設(shè)備里它的使用量是最多的，以一臺(tái)12吋刻蝕機(jī)為例，它有8個(gè)腔，每個(gè)腔體有上電極和下電極，每個(gè)電極有一臺(tái)射頻和一臺(tái)匹配器，共32臺(tái)射頻和匹配器。一臺(tái)刻蝕機(jī)在射頻電源和匹配器上的采購(gòu)需要好幾百萬(wàn)。

幻實(shí)（主播）：也就是說(shuō)它是刻蝕機(jī)很重要的成本構(gòu)成，占比大概是多少？

張德才（嘉賓）：僅僅射頻電源和匹配器就能占到一臺(tái)設(shè)備總成本的12%左右。

幻實(shí)（主播）：這已經(jīng)是個(gè)很重要的成本構(gòu)成了，能看得出做刻蝕機(jī)很不容易，當(dāng)年尹博士也是回國(guó)做了很多年才把中微做到如今這么大規(guī)模。您作為設(shè)備的器件供應(yīng)商，覺(jué)得技術(shù)難不難？

張德才（嘉賓）：確實(shí)有一定的技術(shù)難度和門(mén)檻，因?yàn)橐苯庸?yīng)到腔體里面去激發(fā)等離子體，等離子體是直接作用于芯片的生產(chǎn)工藝當(dāng)中的，其濃度、均勻度和穩(wěn)定度都由射頻電源和匹配器的工作來(lái)決定。所以說(shuō)控制最關(guān)鍵的精度是比較難的。半導(dǎo)體設(shè)備的射頻電源功率從一千瓦到十千瓦，在面板生產(chǎn)時(shí)使用到了十五千瓦到五十千瓦的水平，和無(wú)線通訊的射頻功率比就大了很多，它們的應(yīng)用是不同的。

幻實(shí)（主播）：現(xiàn)階段射頻電源和匹配器賽道里，國(guó)內(nèi)的玩家多不多？競(jìng)爭(zhēng)的態(tài)勢(shì)怎么樣？

張德才（嘉賓）：目前來(lái)講還沒(méi)有能夠應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域包括泛半導(dǎo)體領(lǐng)域的國(guó)產(chǎn)化射頻電源。

幻實(shí)（主播）：聽(tīng)起來(lái)國(guó)產(chǎn)化很難，你們?cè)趺淳透疫M(jìn)呢？

張德才（嘉賓）：這個(gè)難是相對(duì)性的，其實(shí)從我們財(cái)盈的角度來(lái)看沒(méi)有那么難。并不是說(shuō)技術(shù)有多難，主要是因?yàn)槲覀兤鸩奖容^早，之前市場(chǎng)上不太重視這一塊。2015年后，我們就全部轉(zhuǎn)向到半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)支持和服務(wù)領(lǐng)域，這也是由于看到了半導(dǎo)體的整體發(fā)展和未來(lái)趨勢(shì)。公司有一定的技術(shù)經(jīng)驗(yàn)積累和儲(chǔ)備，也培養(yǎng)和鍛煉出一批過(guò)硬的工程師。

談未來(lái)：國(guó)產(chǎn)替代需求強(qiáng)勁，

企業(yè)應(yīng)努力適應(yīng)多產(chǎn)品線的研發(fā)及管理

幻實(shí)（主播）：財(cái)盈現(xiàn)在產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)情況怎么樣了？有沒(méi)有客戶(hù)認(rèn)證？

張德才（嘉賓）：我們首臺(tái)demo的射頻電源在今年年初的時(shí)候已經(jīng)送到客戶(hù)端進(jìn)行了測(cè)試和驗(yàn)證，目前為止依然在日常的工作，

幻實(shí)（主播）：客戶(hù)的反饋怎么樣？

張德才（嘉賓）：對(duì)方已經(jīng)驗(yàn)收了，各項(xiàng)指標(biāo)都符合國(guó)產(chǎn)替代的需求。

幻實(shí)（主播）：客戶(hù)付錢(qián)了嗎？

張德才（嘉賓）：付了。

幻實(shí)（主播）：我知道很多公司都是免費(fèi)送首臺(tái)產(chǎn)品的，您首臺(tái)就能收到錢(qián)，可以說(shuō)很強(qiáng)勢(shì)了。

張德才（嘉賓）：一開(kāi)始我們就和客戶(hù)講這是國(guó)產(chǎn)替代產(chǎn)品?？蛻?hù)有這種需求，急迫地要去替代，而現(xiàn)在要么只能買(mǎi)二手進(jìn)口的，要么就是全新進(jìn)口的，在有疫情的情況下有一部分產(chǎn)品真的很難買(mǎi)到。正好我們的demo機(jī)器就拿上去用。

幻實(shí)（主播）：所以機(jī)會(huì)都是給有準(zhǔn)備的人，為了這件事財(cái)盈準(zhǔn)備了多久？

張德才（嘉賓）：我們首先了解到客戶(hù)對(duì)機(jī)臺(tái)的應(yīng)用要求不是很高，demo的機(jī)器當(dāng)時(shí)是按照這個(gè)需求和水準(zhǔn)去開(kāi)發(fā)的，所以匹配度還是非常高的。我們拆解和分析了數(shù)萬(wàn)件美、日、歐、韓等國(guó)家的進(jìn)口電控部件，積累了幾萬(wàn)份的技術(shù)資料、筆記，特別是半導(dǎo)體設(shè)備、電控部件。在維修中我們對(duì)它原理、結(jié)構(gòu)、設(shè)計(jì)、工藝和應(yīng)用都有相當(dāng)?shù)牧私狻?/span>同時(shí)在這個(gè)過(guò)程當(dāng)中我們也發(fā)現(xiàn)了一些原有的問(wèn)題。

幻實(shí)（主播）：把原廠產(chǎn)品的問(wèn)題也發(fā)現(xiàn)了？

張德才（嘉賓）：對(duì)，任何一個(gè)產(chǎn)品它都是有一定的缺陷的，沒(méi)有設(shè)計(jì)地非常完美的產(chǎn)品。

幻實(shí)（主播）：我非常認(rèn)同。波音飛機(jī)還都掉下來(lái)了，你說(shuō)是吧？

張德才（嘉賓）：我們發(fā)現(xiàn)、解決并思考這些問(wèn)題，去尋找創(chuàng)新的解決方案，然后形成我們公司自己的知識(shí)產(chǎn)權(quán)專(zhuān)利。

幻實(shí)（主播）：這也正好是我們這么多年的一個(gè)“打法”——從學(xué)別人變成創(chuàng)新，形成自己的東西。這非常棒。

張德才（嘉賓）：之前那些工作都算是積累和消化、吸收。財(cái)盈現(xiàn)在已經(jīng)取得的授權(quán)的專(zhuān)利有24件，在申請(qǐng)的專(zhuān)利也有10項(xiàng)，我們很重視知識(shí)產(chǎn)權(quán)的保護(hù)，也準(zhǔn)備建立它的攻防體系，建立專(zhuān)利保護(hù)群。

舉一個(gè)例子來(lái)說(shuō)，我們有一項(xiàng)射頻匹配器，主要關(guān)鍵零部件真空電容的發(fā)明專(zhuān)利，該專(zhuān)利是對(duì)該器件的革新性創(chuàng)新，有望打破國(guó)外對(duì)這種器件的壟斷。

我們的技術(shù)方案采用音圈馬達(dá)設(shè)計(jì)真空電容進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，在結(jié)構(gòu)上進(jìn)行了優(yōu)化改善。原有的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)損耗以及匹配速度比較慢，我們發(fā)明的專(zhuān)利具有高速響應(yīng)，便于控制，匹配精度高的特點(diǎn)，極大程度的優(yōu)化了結(jié)構(gòu)和原來(lái)匹配速度慢的問(wèn)題。比如說(shuō)在7nm以下有些先進(jìn)工藝制程僅僅有5秒鐘的時(shí)間，而傳統(tǒng)的匹配器光運(yùn)作時(shí)間就要達(dá)到1~2秒，這還是在匹配器狀態(tài)比較好的情況下。所以5秒的制程有2秒在進(jìn)行匹配動(dòng)作，就影響了制程的效率，也會(huì)導(dǎo)致工藝的一致性和良率的降低。目前解決這個(gè)問(wèn)題的方案是什么？是采用匹配器檔位切換的粗調(diào)，再加上射頻電源進(jìn)行變頻的微調(diào)方式，讓反應(yīng)時(shí)間縮短，更能適應(yīng)這個(gè)制程，但是制程的過(guò)程波動(dòng)較大，設(shè)備復(fù)雜度和成本就會(huì)上升。如果采用我們發(fā)明專(zhuān)利的技術(shù)方案，時(shí)間就會(huì)更快。

生產(chǎn)車(chē)間實(shí)景 （圖源：財(cái)盈半導(dǎo)體提供）

幻實(shí)（主播）：快到什么程度？

張德才（嘉賓）：它的反應(yīng)時(shí)間是毫秒級(jí)。

幻實(shí)（主播）：前面說(shuō)是兩秒反應(yīng)完，您這里是幾十毫秒，這已經(jīng)不是一個(gè)數(shù)量級(jí)了。

張德才（嘉賓）：對(duì)，不是一個(gè)數(shù)量級(jí)的，制程的平穩(wěn)和連續(xù)性更好。

幻實(shí)（主播）：因?yàn)樗俣瓤炝耍瞥叹湍芊€(wěn)定，它有連貫性的好處。

張德才（嘉賓）：是的，在不增加設(shè)備復(fù)雜度和成本的基礎(chǔ)上壽命也變長(zhǎng)了，理論上是傳統(tǒng)的三倍以上。

幻實(shí)（主播）：目前在電控這一塊已經(jīng)可以得心應(yīng)手開(kāi)出自己獨(dú)特的切入口了，那么未來(lái)您打算帶領(lǐng)財(cái)盈往哪些方向去發(fā)展呢？

張德才（嘉賓）：射頻電源和匹配器是半導(dǎo)體設(shè)備電控一種，當(dāng)然半導(dǎo)體設(shè)備還有其他的電控部件，我們先聚焦于射頻電源和匹配器這個(gè)產(chǎn)品，實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化替代，然后在此基礎(chǔ)上不斷地迭代和研發(fā)，直至達(dá)到乃至超過(guò)國(guó)外的進(jìn)口產(chǎn)品的性能水平。

當(dāng)我們有一定基礎(chǔ)之后，在其他半導(dǎo)體設(shè)備電控上也會(huì)適時(shí)的研發(fā)和布局。因?yàn)檫@類(lèi)產(chǎn)品有個(gè)特點(diǎn)，單個(gè)產(chǎn)品的市場(chǎng)空間雖不大，但它是典型的“以小制大”卡脖子環(huán)節(jié)，此外毛利率和市場(chǎng)集中度也比較高，可以說(shuō)既有優(yōu)勢(shì)也有劣勢(shì)。

因此，我們的經(jīng)營(yíng)策略和商業(yè)模式就必須轉(zhuǎn)換思維，要具備適應(yīng)這種多產(chǎn)品線的研發(fā)管理經(jīng)驗(yàn)和能力，打造成一家專(zhuān)精的半導(dǎo)體設(shè)備電控部件供應(yīng)商。這是我們3~5年之內(nèi)的規(guī)劃，那么更長(zhǎng)遠(yuǎn)一點(diǎn)的目標(biāo)其實(shí)是更為廣闊的設(shè)備工業(yè)電源或者說(shuō)是工業(yè)設(shè)備電控市場(chǎng)，比如說(shuō)激光中的激光電源、廢氣/廢水分解處理的電源，單晶爐電源以及大型醫(yī)療設(shè)備的電源等等。其實(shí)這些領(lǐng)域都是被進(jìn)口產(chǎn)品所占據(jù)的，國(guó)內(nèi)目前還是很薄弱，甚至是空白的。

幻實(shí)（主播）：未來(lái)財(cái)盈半導(dǎo)體要干的事情就是圍繞電源領(lǐng)域去發(fā)光發(fā)電。聽(tīng)完張總的分享我很有感觸，過(guò)去我們一直說(shuō)技術(shù)創(chuàng)新很難，尤其是國(guó)產(chǎn)替代進(jìn)入深水區(qū)繼續(xù)往前走的時(shí)候，遇到的困難特別多。和您聊完后，我發(fā)覺(jué)您的這種發(fā)展路徑未嘗不是一種能讓大家來(lái)借鑒的方法：先從不起眼的工作干起來(lái)，就像您最開(kāi)始做維修/維護(hù)，通過(guò)拆解別人的方案來(lái)學(xué)習(xí)，再慢慢總結(jié)琢磨，甚至可以放到桌面上大家一起探討交流。此外還能在學(xué)的過(guò)程中發(fā)現(xiàn)原廠的問(wèn)題，后續(xù)設(shè)計(jì)自己的產(chǎn)品時(shí)進(jìn)行優(yōu)化，這種路線完全可以給很多做機(jī)臺(tái)和零部件的公司一些借鑒。

您已經(jīng)走出來(lái)了，產(chǎn)品順利賣(mài)出，有收益了，能形成很好的正向循環(huán)，證明這條路可行。對(duì)于這種小而美的產(chǎn)業(yè)板塊，希望張總帶領(lǐng)財(cái)盈繼續(xù)堅(jiān)持下去，因?yàn)閲?guó)內(nèi)確實(shí)很需要它。守得住清貧一定能迎來(lái)曙光的。

采訪實(shí)錄 （圖右為幻實(shí)，圖左為張德才先生）

半導(dǎo)體產(chǎn)能的持續(xù)短缺加速了各大晶圓廠擴(kuò)大產(chǎn)能的腳步。2022年全球半導(dǎo)體設(shè)備銷(xiāo)售額有望達(dá)到1140億美元，市場(chǎng)的關(guān)注點(diǎn)也逐漸從設(shè)備向設(shè)備上游轉(zhuǎn)移，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)實(shí)力壯大的同時(shí)，也驅(qū)動(dòng)了設(shè)備零部件產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，使零部件國(guó)產(chǎn)化成為一種可能。

但實(shí)現(xiàn)全面國(guó)產(chǎn)化還面臨不少問(wèn)題：一方面設(shè)備零部件種類(lèi)繁多，另一方面技術(shù)難度大，精度要求高，驗(yàn)證周期長(zhǎng)，市場(chǎng)碎片化。能否真的迎來(lái)行業(yè)春天還要取決于上游產(chǎn)業(yè)鏈的整體技術(shù)實(shí)力。在提升實(shí)力的過(guò)程中，國(guó)內(nèi)企業(yè)可以先從國(guó)外已成熟的產(chǎn)品技術(shù)學(xué)起，通過(guò)細(xì)化、拆分、復(fù)盤(pán)、總結(jié)成自身經(jīng)驗(yàn)，以此不斷推進(jìn)優(yōu)化迭代和技術(shù)創(chuàng)新，這不失為一種正向循環(huán)的高效方法。