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          美資龍頭訴中資企業(yè)“竊密”,后者設備可用于5nm芯片

          發(fā)布人:芯片大師哥 時間:2023-06-23 來源:工程師 發(fā)布文章

          導讀:6月15日據(jù)彭博社消息,全球最大半導體設備制造商美國應用材料 (AMAT)正在起訴一家中資競爭對手,稱其耗時14個月竊取了其高價值機密。


          圖:應用材料(AMAT)


          據(jù)報道,AMAT指控國內(nèi)知名半導體設備制造商屹唐股份位于美國加州的子公司MTI,稱其精心策劃通過員工挖角和轉(zhuǎn)移半導體設備設計等方式“竊取商業(yè)機密”,涉及用于制造先進芯片的新型CVD(化學氣相沉積)設備


          AMAT在2022年曾指控稱,MTI在短短一年多的時間里雇傭了17名來自AMAT的高級工程師,其中包括一名高級部門經(jīng)理和研究人員,他們合作多年并知曉芯片制造工藝和公司技術(shù)路線圖等敏感信息,并為MTI提供了相關機密文件,“這些文件中有許多是高度敏感的、技術(shù)性的,并且包含AMAT的商業(yè)秘密和專有技術(shù)?!?/span>


          圖:屹唐股份主要產(chǎn)品


          MTI發(fā)言人對此回應稱,AMAT的指控和索賠毫無根據(jù),該案件此前已經(jīng)經(jīng)過了激烈的法庭程序,但沒有出現(xiàn)任何證據(jù),而且將來也不會出現(xiàn),因為這些指控是錯誤的。


          根據(jù)美國市場分析公司Gartner的數(shù)據(jù),2020年屹唐股份干法去膠設備、快速熱處理設備的市場占有率分別位居全球第一、第二,堪稱半導體設備細分領域的龍頭。


          屹唐股份的主要經(jīng)營主體為美國半導體設備廠商Mattson Technology Inc.(MTI)。MTI原為美國納斯達克證券交易所上市公司,2016年屹唐股份完成其私有化收購,MTI從美股退市。


          在收購MTI后,多名有AMAT任職背景的核心技術(shù)人員繼續(xù)留任,由國資實控的屹唐股份與MTI實施知識產(chǎn)權(quán)共享,促進了母、子公司知識產(chǎn)權(quán)與核心技術(shù)的內(nèi)部整合。截至2021年5月31日,屹唐股份與MTI共同擁有27項境內(nèi)已授權(quán)發(fā)明專利和275項境外已授權(quán)發(fā)明專利,合計擁有309項已授權(quán)專利。


          圖:用于65nm-5nm的干法刻蝕設備


          根據(jù)屹唐股份2021年發(fā)布的招股書,屹唐股份的干法去膠設備、快速熱處理設備可用于90nm到5nm邏輯芯片、10nm系列DRAM芯片以及32層到128層3D閃存芯片;其干法刻蝕設備主要可用于65nm到5nm邏輯芯片、10nm系列DRAM芯片以及32層到128層3D閃存芯片制造。


          國內(nèi)去膠設備市場上,屹唐股份也處于市場領先地位。


          據(jù)中國國際招標網(wǎng)公開數(shù)據(jù)統(tǒng)計,2020年,長江存儲通過招投標方式采購的27臺去膠設備中,24臺由屹唐股份提供,所占份額達88.89%;華虹集團通過招投標方式采購的11臺去膠設備中,10臺由屹唐股份提供,占比達90.91%。


          此外,AMAT本次同時起訴了一群幫助MTI “盜用”其商業(yè)秘密的不知名個人或公司。AMAT在訴狀中表示,其調(diào)查仍在進行中。


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          關鍵詞: 芯片

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