在真空科學(xué)與技術(shù)中，“真空”詞被理解為低于一個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓的氣體狀態(tài)。這種狀態(tài)同正常的大氣狀態(tài)相比較，氣體較為稀薄，即單位體積內(nèi)的分子數(shù)目較少，分子之間或分子與其它粒子（如電子、離子）之間的碰撞幾率減少，分子在單位時間內(nèi)碰撞于單位表面積（如器壁）上的次數(shù)也相對減少。這些是“真空”的主要特性。真空常用帕斯卡（Pa）或托爾（Torr）作為壓力的單位（1 Torr = 133.3 Pa）。在自然環(huán)境里，只有外太空堪稱最接近真空的空間。

1. 標(biāo)準(zhǔn)大氣壓

在重力加速度為980.665cm/s2，水銀溫度為0℃，密度為13.5951g/cm3的條件下，760mm高的汞柱產(chǎn)生的壓力，稱為標(biāo)準(zhǔn)大氣壓。一個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓的值為：

2. 真空度

表示真空狀態(tài)下氣體的稀薄程度，通常用壓力值來表示。

3. 真空區(qū)域劃分

低真空：1E5Pa～1E2Pa

中真空：1E2Pa～1E-1Pa

高真空：1E-1Pa～1E-5Pa

超高真空：1E-5Pa～1E-9Pa

極高真空：低于1E-9Pa

4. 全壓力

混合氣體中所有組分壓力的總和。

5. 分壓力

混合氣體中某一組分的壓力。

6. 平均自由程

一個分子與其它氣體分子每連續(xù)兩次碰撞之間的平均路程，叫平均自由程。平均自由程與壓力、溫度及分子直徑等因素有關(guān)。對于室溫下的空氣，平均自由程近似值由下式給出：

式中λ —平均自由程，m；p —?dú)怏w壓力，Pa。

7. 粘滯流

氣體分子的平均自由程遠(yuǎn)小于導(dǎo)管最小截面尺寸的流態(tài)。因此，流動取決于氣體的粘滯性，粘滯流可以是層流或滯流。

8. 分子流

氣體分子的平均自由程遠(yuǎn)大于導(dǎo)管截面最大尺寸的流態(tài)。

9. 中間流

在粘滯流和分子流之間狀態(tài)下氣體通過導(dǎo)管的流動。

10. 流量

在給定時間間隔內(nèi)通過某一截面的氣體量除以該時間。

11. 吸附

固體或液體對氣體或蒸氣的捕集現(xiàn)象。

12. 解吸

被材料吸附的氣體或蒸氣的釋放現(xiàn)象。

13. 去氣

氣體從材料中人為的解吸。

14. 放氣

氣體從材料中自然的解吸。

15. 滲透

氣體通過固體阻擋層的現(xiàn)象。

注：只列出常用真空技術(shù)術(shù)語，如果需要其它術(shù)語的解釋，請查閱真空標(biāo)準(zhǔn)GB/T3163-2007。