1月2日消息，據(jù)ASML官網(wǎng)最新聲明，其NXT:2050i及NXT:2100i光刻系統(tǒng)的出口許可證已被荷蘭政府部分撤銷，影響中國(guó)大陸部分客戶！

美國(guó)去年10月17日公布的出口管制新規(guī)，對(duì)用于一些先進(jìn)生產(chǎn)設(shè)施的某些次關(guān)鍵DUV浸沒(méi)光刻系統(tǒng)施加了限制。

按照ASML的說(shuō)法，2023年基本交付了中國(guó)大陸客戶預(yù)付的DUV積壓訂單（至于2024年是不是可以繼續(xù)，ASML之前就表示不能確定。）。

事實(shí)上，2023年ASML一直都在向中國(guó)客戶供應(yīng)光刻機(jī)，其中就包含了NXT:2000i和更先進(jìn)的DUV型號(hào)的產(chǎn)品，且基本交付了中國(guó)大陸客戶預(yù)付的DUV積壓訂單。至于先進(jìn)的7nm、14nm等先進(jìn)的EUV光刻機(jī)，ASML依然不能給中國(guó)客戶出售。

據(jù)ASML官網(wǎng)提供的信息，該公司目前在售的主流浸沒(méi)式DUV光刻機(jī)產(chǎn)品共有三款，分別是：TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。

ASML預(yù)計(jì)，目前撤銷出口許可證或最新的美國(guó)出口管制限制不會(huì)對(duì)2023年財(cái)務(wù)前景產(chǎn)生重大影響。ASML還稱，在最近與美國(guó)政府的討論中， ASML進(jìn)一步澄清了美國(guó)出口管制法規(guī)的范圍和影響。

2023年9月1日，ASML在另一份聲明中稱，其已向荷蘭政府提出TWINSCAN NXT：2000i及后續(xù)推出的浸潤(rùn)式光刻系統(tǒng)的出口許可證申請(qǐng)，荷蘭政府也已頒發(fā)了截至9月1日所需的許可證，允許該公司2023年繼續(xù)發(fā)運(yùn)相關(guān)光刻系統(tǒng)。

在上述聲明中，該公司表示：“在新的出口管制條例下，今年（指2023年）年底前ASML仍能履行已簽訂的合同，發(fā)運(yùn)這些光刻設(shè)備。客戶也已知悉出口管制條例所帶來(lái)的限制，即自2024年1月1日起，ASML將基本不會(huì)獲得向中國(guó)客戶發(fā)運(yùn)這些設(shè)備的出口許可證。”

來(lái)源：半導(dǎo)體材料與工藝