荷蘭升級光刻機限制?ASML回應
9月6日,荷蘭政府發(fā)布了關于兩款浸沒式 DUV(深紫外光) 光刻機出口的最新許可要求,該規(guī)定將于9月7日正式生效。
根據更新后的許可要求,并根據美國出口管理條例 734.4.(a).(3),ASML后續(xù)需要向荷蘭政府而非美國政府申請出口許可,才能出貨其 TWINSCAN NXT:1970i 和 1980i DUV 浸沒式光刻系統(tǒng)。此前,荷蘭的出口管制許可要求已適用于 TWINSCAN NXT:2000i 及后續(xù) DUV 浸沒式系統(tǒng)。ASML 的 EUV 系統(tǒng)的銷售也需遵守許可要求。
對此有網友認為是荷蘭升級了對ASML的浸沒式DUV光刻機的出口管制。其實不然!
眾所周知,2023年9月1日,荷蘭政府此前于6月底頒布的有關先進半導體設備的額外出口管制的新條例正式生效。這些新的出口管制條例主要針對的對象為先進的芯片制造技術,包括先進的沉積設備和浸沒式光刻系統(tǒng)。這也使得ASML無法向中國大陸出口NXT:2000i及以上浸沒式DUV設備。
由于ASML此前所獲得的荷蘭政府的許可,允許其在2024年1月1日之前能夠繼續(xù)向中國大陸出口。但是ASML此前發(fā)布的聲明顯示,荷蘭政府在在當?shù)貢r間2024年1月1日之前已經部分吊銷了2023年發(fā)貨NXT:2050i和NXT:2100i光刻系統(tǒng)的許可證,影響到了少數(shù)中國客戶。隨著2024年1月1日,之前的許可證的到期,ASML已經無法繼續(xù)向中國大陸出口相關受限設備了。并且,后續(xù)也無法獲得新的許可。
ASML首席財務官Roger Dassen當時就表示,“對于出口管制,荷蘭和美國最新頒布的出口管制法規(guī)已經生效。在政府與我們的后續(xù)溝通中,對其出口管制的適用范圍和影響進行了進一步澄清。可以預計的是,2024年我們將不會獲得向中國大陸發(fā)運NXT:2000i及以上浸潤式設備的出口許可證?!?/span>
此外,Roger Dassen還進一步指出,“個別中國先進芯片制造晶圓廠將無法獲得發(fā)運NXT:1970i 和 NXT:1980i 浸沒式DUV設備的許可證?!倍@主要是由于美國的出口管制政策,而非荷蘭的出口管制政策。
荷蘭政府這次最新宣布的針對ASML NXT:1970i 和 1980i DUV 浸沒式光刻系統(tǒng)的出口管制實際是將這兩款設備的出口管制權從美國政府那邊拿了過來,也就是說后續(xù)這兩款設備的出口許可證的發(fā)放將由荷蘭政府來決定。顯然這對于ASML來說是一件好事,畢竟荷蘭政府自然是會比美國政府更偏向于關注本國關鍵企業(yè)的利益。
對此,ASML官方也發(fā)布聲明表示,認為這一新規(guī)主要是協(xié)調頒發(fā)出口許可證的方式,即由美國政府發(fā)放許可變更為由荷蘭政府發(fā)放許可。
ASML在聲明中指出,由于這是技術性調整,因此預計不會對公司2024年的財務前景,或在2022年11月投資者日傳達的長期情景產生任何影響。
來源:芯智訊
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