MEMS制造廠與CMOS制造廠的工藝革新。

　　Yolo給出了MEMS的新興和衰落圖(圖7)，以及2009-2015年間新興百萬美元價(jià)值MEMS預(yù)測(圖9)。

　　成功的必備條件

　　新興MEMS的特點(diǎn)是，達(dá)到成熟的速度較以往更快(表1)。

　　Bosch Sensortec公司介紹了MEMS的成功經(jīng)驗(yàn)。CEO Frank Melzer說，今天要保持增長需要供應(yīng)商具有多種不同的技巧。由于競爭激烈，因此這越來越成為一種最高效技術(shù)和相關(guān)服務(wù)上的競爭。提供某種也許能夠滿足應(yīng)用需要的產(chǎn)品顯然是無法保證獲得商業(yè)成功的。今天重要的是要有一整套的產(chǎn)品和相關(guān)的軟件支持，使客戶能夠選擇其特定需求的最佳解決方案。對有效的系統(tǒng)集成而言，投資組合之內(nèi)產(chǎn)品的兼容性及實(shí)現(xiàn)結(jié)果的可轉(zhuǎn)移性至關(guān)重要。如果產(chǎn)品批量大，且客戶產(chǎn)品平臺(tái)的生產(chǎn)提升快，則諸如可靠但靈活的供應(yīng)能力及完美的產(chǎn)品質(zhì)量等因素將成為客戶獲得經(jīng)濟(jì)成功的一項(xiàng)非常重要的因素。這說明，MEMS供應(yīng)商中成功的公式中包含著多個(gè)要素，其中最重要的要素是基于技術(shù)卓越、對應(yīng)用的深度理解及完美的產(chǎn)品質(zhì)量之類的傳統(tǒng)技巧，以及通常有效的“貼近并理解客戶”的理念。

　　同時(shí)，材料、工具平臺(tái)等企業(yè)也需要配合形成一條完整的產(chǎn)業(yè)鏈。據(jù)美國應(yīng)用材料公司200mm產(chǎn)品與改進(jìn)部Jack Blaha介紹，該公司在MEMS新材料、制造方面不斷探索，包括鋁材料，制造的pvd和cmp制程。

　　MEMS融合了機(jī)械、微電子、化學(xué)等方面的技術(shù)，因此人才稀缺，為了解決MEMS設(shè)計(jì)問題，Coventor公司銷售和市場副總裁Eric Eisenhut介紹說，該公司提供從MEMS IP、驗(yàn)證、工具庫到MEMS平臺(tái)的多種服務(wù)。

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