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          IMEC宣布第一個(gè)300mm晶圓兼容定向組裝工藝生產(chǎn)線

          —— 實(shí)現(xiàn)從學(xué)術(shù)DSA合作實(shí)驗(yàn)室規(guī)模到大批量制造環(huán)境的升級(jí)
          作者: 時(shí)間:2012-02-13 來(lái)源:半導(dǎo)體制造 收藏

            宣布成功研發(fā)出世界上第一個(gè)300毫米相容的定向自組裝(DSA)的工藝生產(chǎn)線。與美國(guó)威斯康星大學(xué),安智電子材料和東京電子的DSA合作目的,以解決關(guān)鍵的障礙,實(shí)現(xiàn)從學(xué)術(shù)DSA合作實(shí)驗(yàn)室規(guī)模到大批量制造環(huán)境的升級(jí)。

          本文引用地址:http://cafeforensic.com/article/128940.htm


          關(guān)鍵詞: IMEC 晶圓

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