濕度傳感器主要用于測量或控制氣體的相對濕度或絕對濕度、露點等。也可以間接地控制溫度。下面對其典型應用作一介紹。

(一)在濕度測量系統(tǒng)中的應用

(1)在70℃以下(通常在-40℃以上)時，若環(huán)境較干凈，則使用高分子傳感器，污染嚴重的使用陶瓷傳感器(加熱清洗再生型)。由于它存在加熱清洗過程，不能連續(xù)測量，且耗能較大(1～10W)。但壽命長，使用時可選加熱清周期較長的傳感器，如氯氧基磷灰石陶瓷傳感器，2～3個月洗一次，此外，內熱式比外熱型耗能低。

(2)在70～100℃范圍內測濕度，使用具有加熱清洗的陶瓷傳感器，為提高精度可進行線性及溫度補償。為了實現(xiàn)更高精度則要配以微機.在高溫高濕時需頻繁地加熱清洗，如80% RH以上時，需30S清冼一次，最好裝有自動加熱清洗裝置。

(3)在100～150℃范圍內測濕度，在國際上，大都采用陶瓷濕度傳感器制作高溫濕度儀。

(二)在工業(yè)過程自動控制中的應用

為了改善產品的質量和節(jié)能，通常在產品干燥系統(tǒng)、反應堆的濕度控制、鍋爐水蒸氣的漏泄檢測、集成電路或磁頭加工廠的空調等大都使用陶瓷濕度傳感器進行控制;各種空調系統(tǒng)、醫(yī)療系統(tǒng)的濕度控制可采用高分子或陶瓷濕度傳感器進行。

(三)在蒸汽檢漏系統(tǒng)中的應用

在火力發(fā)電站、原子能電站、蒸汽機車、鍋爐等高溫高壓設備中，為了預防漏氣，防止人身事故，可使用濕度傳感器進行檢漏。

(四)在其他系統(tǒng)中的應用

在家電中結露傳感器可用作磁帶錄像機結露檢測，汽車車窗結露、結霜檢測等。

濕度傳感器的應用推動了對微電子電路封裝故障機制的分析，因集成電路失效與濕度有很大關系。美國麻省理工學院把微濕傳感器裝在芯片上，對其失效進行早期報警實驗成功。為了確保軍用器件的高可靠性，Panamclrics公司把微濕傳感器封裝在集成電路殼體內，檢測其早期失效。