圖3 通過短路線的電流波形

圖4 通過500Ω電阻的電流波形

　　測試步驟：

　　靜電放電測試時要求一次至少使用三個樣本，每個樣本規(guī)定的靜態(tài)和動態(tài)參數(shù)都要事先進行測試并記錄。

　?、?在試驗器插座上（A，B端）分別插上評價負載（短路線和R2）；電流探針置于B端處；按表4設(shè)置試驗器充電電壓；

　　② 分別引發(fā)試驗器脈沖，觀測電壓波形，要求上升時間、峰值電流和振鈴波形滿足要求。采用拍照或數(shù)字貯存方式記錄這些波形。

　　③ 在試驗器插座上換上被測器件（DUT）進行放電試驗，通常按表4從最低電壓檔開始，每個被測器件應(yīng)采用一個正向和一個反向脈沖試驗，允許脈沖之間至少間隔0.3s時間。

　?、?在室溫下測試樣本的所有靜態(tài)和動態(tài)參數(shù)。如果要求多個溫度，首先從最低溫度開始。

　?、?如果所有三個樣本都通過規(guī)定數(shù)據(jù)的參數(shù)測試，則再用表4中更高一擋電壓試驗。記錄通過的最高電壓檔。

　?、?如果有一個或多個樣本失效，重新用三個新的樣本，以降低一擋表4中電壓進行試驗。如果繼續(xù)有失效，再降低一擋，如果還有失效，則停止試驗。

　?、?按表4進行分級。

2） 機器模式的靜電放電敏感性測試

圖5　機器模式的靜電放電敏感性測試原理圖