MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)微電子機(jī)械系統(tǒng)，出現(xiàn)于19世紀(jì)，從上世紀(jì)60年代起經(jīng)過美國科技人員的不斷開發(fā)改進(jìn)，并于1989年首先提出了“微電子技術(shù)應(yīng)用于電機(jī)系統(tǒng)”的概念。由此，MEMS成為微機(jī)械等領(lǐng)域的學(xué)術(shù)用語，MEMS技術(shù)也成為熱門研究課題。MEMS隨著半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工技術(shù)和超精密機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展，MEMS是感知、計算和執(zhí)行的融合，它把電子技術(shù)與機(jī)械特性有機(jī)地結(jié)合了起來，可同時實(shí)現(xiàn)物理、化學(xué)、生物等方面的功能，現(xiàn)已滲透到電子、機(jī)械、物理、化學(xué)、醫(yī)學(xué)、生物等各個領(lǐng)域，變成世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一，并具有廣闊的前景。MEMS傳感器是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造的傳感器，與傳統(tǒng)傳感器相比，具有體積小、重量輕、成本低、功耗少、可靠性高、適于批量生產(chǎn)、易于集成和實(shí)現(xiàn)智能化等特點(diǎn)。

　　傳感器已屬于WSTS的統(tǒng)計項目之一，2012年銷售值80億美元，占整個半導(dǎo)體市場的2.7%，2013年增長4.5%，達(dá)84億美元，占2.8%，明年進(jìn)一步上揚(yáng)7.1%，達(dá)90億美元，占2.9%，2015年續(xù)增5.5%，達(dá)95億美元，占2.9%，保持著年年成長的趨勢。另外，F(xiàn)airchild Semiconductor公司MEMS與傳感器解決方案副總裁Janusz Bryzek從出貨量方面進(jìn)行了預(yù)測，他說未來世界MEMS傳感器的應(yīng)用有可能達(dá)到萬億片的規(guī)模，展望2023年， MEMS芯片出貨量估計可達(dá)1630億片，半導(dǎo)體芯片則為1.95萬億片，MEMS芯片出貨量占半導(dǎo)體量的比重將從2010年的3%提高到2023年的8%。圖1還告訴我們，從今往后兩者出貨量的發(fā)展速度會愈來愈快，MEMS的增速將從每年13%，提高到38%，半導(dǎo)體則將從9%提升到27%，前者的成長速度更勝于后者。

　　人機(jī)介面的歷史從鍵盤、鼠標(biāo)，到目前流行的MEMS傳感器和控制器，觸控、手勢、語音、影像識別等正日漸普及，MEMS傳感器的應(yīng)用不斷擴(kuò)大。以日本為例，在半導(dǎo)體趨于式微的今天，半導(dǎo)體廠商轉(zhuǎn)而寄希望于傳感器，積極推進(jìn)MEMS傳感器事業(yè)。今年6月日本政府?dāng)M定的“日本再興戰(zhàn)略(Japan Is Back)”中便列有基礎(chǔ)設(shè)施檢查診斷項目。在橋梁、道路、大樓等基礎(chǔ)設(shè)施中設(shè)置各類傳感器，以收集的有關(guān)數(shù)據(jù)為基礎(chǔ)，企望發(fā)揮檢查診斷的作用。這方面使用的傳感器市場規(guī)模將從今天的5000億日元增長到2030年的10萬億日元。衰落的家電王國日本今后傳感器的應(yīng)用將向著醫(yī)療和機(jī)器人邁進(jìn)，隨著高齡化的進(jìn)展和抑制高昂的醫(yī)療費(fèi)用，國家將推行家庭醫(yī)療政策，廣泛采用小型醫(yī)療器具，增加傳感和監(jiān)視功能，利用可穿戴設(shè)備經(jīng)常監(jiān)視老年人的血壓和心跳，防病于未然。

　　先前的日本福島第一核電廠事故中首先采用了機(jī)器人，此外，護(hù)理工作和生產(chǎn)自動化都將積極采用智能機(jī)器人，基礎(chǔ)設(shè)施非破壞性檢查診斷也需用機(jī)器人，故而日本機(jī)器人市場將從今天的50億日元成長到2030年的2萬億日元。還有汽車業(yè)也是日本的得意行業(yè)，凡此，都是廣泛采用傳感器的領(lǐng)域，因而JEITA(日本電子信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)協(xié)會)預(yù)測，日本2020年傳感器市場將達(dá)5.87萬億日元(圖2)。