膠片尺寸收縮原因分析

　　今日電路板對尺寸穩(wěn)定性要求須達(dá)到每24IN變化不超過1MIL的精度，甚至每30IN不超過0．5MIL為標(biāo)準(zhǔn)，因此，線路版廠在溫濕度控制方面就必須嚴(yán)格控制，特別每逢冬天，誰都有膠片收縮方面的煩惱，導(dǎo)致膠片頻頻更換，甚至內(nèi)層板報廢嚴(yán)重！作為流程工程師，在控制好環(huán)境濕度的同時，可以注意以下幾個方面的原因，對于不能改善的項目，可以抓住它的收縮規(guī)律，在CAM時給予補(bǔ)償！

1，膠片在光繪前沒有經(jīng)過預(yù)置

    由于膠片制造時無法預(yù)先控制膠片中的濕度與每個生產(chǎn)車間的濕度一致，因此使用之前應(yīng)先使其與工作環(huán)境達(dá)到平衡的狀況。建議預(yù)置時間為12小時，預(yù)置時必須打開膠片的內(nèi)包裝，使其與外界的空氣充分接觸。

2，沖片過程中烘干不足

    在沖片過程中，底片因吸收水份而達(dá)到100%相對濕度而膨脹，當(dāng)?shù)灼娓蓵r失去水份則開始收縮。在較為溫和的烘干狀況下例如吊干底片，當(dāng)?shù)灼謴?fù)室內(nèi)原有的濕度時會發(fā)現(xiàn)底片較原有尺寸縮小，但如底片在沖片機(jī)經(jīng)過高溫底濕烘干后，在室內(nèi)吸收水份而達(dá)到平衡狀態(tài)，其尺寸則會較原有的尺寸膨大。

    *烘干不足底片會收縮。
    *過度烘干底片會膨脹。
    改善：調(diào)整烘干溫度為：40-50℃

2，濕度計的準(zhǔn)確性

    通常量溫度并非難事，但濕度的度量較為困難，只要是市面上很多濕度測量計不是很精確，很容易造成誤導(dǎo)。

    不宜采用的濕度計：

    以下兩種工業(yè)上最常見的濕度計均不符合控制RH3%的要求：
    *毛發(fā)濕度計雖普遍而價廉但十分的不精確。
    *干濕球濕度計之誤差常達(dá)7%以上均不夠精密。
    改善：使用電子感應(yīng)式較為適合??！

3，貼膠片保護(hù)膜

    膠片在貼保護(hù)膜時，由于內(nèi)應(yīng)力的作用，在貼膜方向會有10UM的收縮，如果可以，只能在CAM時加補(bǔ)償。

4，全自動曝光機(jī)器屬于強(qiáng)力抽真空并且相對處于獨(dú)立環(huán)境（高溫低濕），通常會造成收縮。

　　改善：

    可以將一個溫濕度計放在機(jī)器內(nèi)，測量與外界的偏差，根據(jù)這個偏差值和膠片的膨脹系數(shù)算出收縮的量，在CAM時給予補(bǔ)償！

5，工作環(huán)境的一致性

    在膠片的使用過程中，難免會發(fā)生膠片存放轉(zhuǎn)移的情況，例如：從暗房把膠片送到內(nèi)層/圖轉(zhuǎn)/綠油等車間，我們必須確保這四個不同地方的溫濕度的一致性！

    改善：為避免溫濕度計方面的誤差，可以用同一個溫濕度計輪流測幾個不同車間的溫濕度，觀察是否一致，否則應(yīng)給予調(diào)整！

EDA供應(yīng)商力推不同的電流源建模技術(shù)

　　最近，EDA業(yè)界的好消息是Cadence設(shè)計系統(tǒng)公司、Magma設(shè)計自動化公司和新思公司都同意采用電流源模型以確保深亞微米設(shè)計的時序精確度。壞消息是這三家供應(yīng)商正在支持兩種競爭的方法。

    Magma公司宣布支持Cadence公司的高效電流源模型(ECSM)，該模型是基于新思公司開放源碼Liberty庫格式的擴(kuò)展。ECSM已經(jīng)投入使用多年，其值得夸耀的地方是支持第三方設(shè)計庫，并實現(xiàn)了100多個出帶。與此同時，新思公司在前不久的新思互操作性論壇上發(fā)布了新的復(fù)合電流源(CCS)建模技術(shù)。
 
    目前，Cadence和Magma的延時計算器支持ECSM，而廣為使用的新思PrimeTime時序分析器支持CCS，因此許多設(shè)計環(huán)境將不得不使用兩種不兼容的時序模型。這并不是什么新聞，因為新思一直在推動它的可擴(kuò)展多項延時模型(SPDM)成為Liberty內(nèi)的下一代時序模型。

    但事情不應(yīng)該是這樣的，Cadence公司數(shù)字IC行銷副總裁Eric Filseth表示。

   “我相信，新思肯定會發(fā)展SPDM并轉(zhuǎn)向一種電流源方法?！盕ilseth說，“我希望他們采用ECSM。對EDA業(yè)界來說，如果新思提出一種相似技術(shù)并用一種專有數(shù)據(jù)格式來實現(xiàn)它，那就太糟糕了?！?

    但新思表示，CCS是更先進(jìn)、更精確的解決方案。新思公司戰(zhàn)略聯(lián)盟總監(jiān)Kevin Kranen堅持說，CCS將作為Liberty標(biāo)準(zhǔn)的一部分“完全開放”。所有對它感興趣的團(tuán)體都可以獲得相關(guān)的支持文檔。

    另一方面，ECSM是由Cadence擁有的。雖然ECSM模型的實際實現(xiàn)方案是專有的，但Cadence已經(jīng)將該格式提供給Magma和新思。“我們正在尋找一條更正式的途徑來完全開放它。”Filseth表示，“我們希望ECSM成為一個工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)?！?

    所有各方至少都同意這樣一個觀點：電流源建模比過去使用的基于電壓的方法更精確。

    “我們從進(jìn)行90nm設(shè)計的用戶得到反饋：基于電流的建模和時延是未來的發(fā)展方向?！毙滤脊井a(chǎn)品高級行銷總監(jiān)Rajiv Maheshwary表示。他指出，基于電流的方法能夠更精確地處理長距離互連、電壓縮小和IR下降。
 
    “SPDM將為你提供一個延時數(shù)字，但你能從電流源模型獲得波形，這是一種更精確的為互連時延建模的方法?！盡agma公司分析與簽字確認(rèn)部總經(jīng)理Premal Buch表示。

    Magma之所以支持ECSM是因為Silicon Metrics公司在2003年被Magma公司收購之前已經(jīng)與Cadence就ECSM展開合作。“EDA供應(yīng)商們合力支持一種格式比每家公司擁有自已版本的電流源模型要更有意義，”Buch指出。

    但顯然，這是很難實現(xiàn)的。新思公司相信CCS比ECSM好，Maheshwary表示，因為CCS提供了更完整的接收器建模技術(shù)。
 
    如果ECSM不足以實現(xiàn)接收器建模，這對Cadence公司的Filseth來說將是一個新聞?！拔疫€沒有聽任何人說過類似的事情，”他說。

    Maheshwary還指出，CCS能提供在Hspice 2%之內(nèi)的精度，它提供了一種可伸縮的方法學(xué)，能支持65nm的統(tǒng)計設(shè)計。

    CCS將包含在Liberty 2004.12版本中。該版本還提供對PrimeTime和Library Compiler工具的支持，并將在2005年內(nèi)提供對Physical Compiler、Astro和Star-MTB特征化工具的支持。

    另外，新思公司也承認(rèn)Cadence和Magma的觀點，即SPDM格式的特征化非常復(fù)雜。但它不會完全退出市場，Meheshwary表示。“SPDM可以在寬廣范圍的溫度和電壓下為延時和功耗建模。”他說，“那些擁有功耗SPDM庫的用戶將繼續(xù)使用它們?！?/P>