物聯(lián)網(wǎng)(IoT)時(shí)代來(lái)臨，相關(guān)制程技術(shù)也開始朝系統(tǒng)級(jí)封裝(SiP)發(fā)展，新制程的演進(jìn)卻意想不到地為舊制程的二手設(shè)備市場(chǎng)點(diǎn)燃了新火花，讓設(shè)備商開始投入二手設(shè)備的相關(guān)業(yè)務(wù)。

　　Semiconductor Engineering網(wǎng)站報(bào)導(dǎo)，雖然部分高階物聯(lián)網(wǎng)裝置必須采用由鰭式場(chǎng)效電晶體(FinFET)、全空乏絕緣上覆矽(FD-SOI)等新制程技術(shù)所生產(chǎn)的系統(tǒng)單芯片(SoC)，然在市場(chǎng)里的數(shù)百億芯片中絕大多仍是采較舊的制程來(lái)生產(chǎn)，也讓舊制程的設(shè)備變得炙手可熱。

　　換言之，雖然部分芯片商持續(xù)向5奈米制程邁進(jìn)，但2.5D及擴(kuò)散型(Fan-out)封裝技術(shù)的發(fā)展仍有課題要克服，其中有些會(huì)透過(guò)新的FinFET制程來(lái)達(dá)成，有些則會(huì)采用較舊制程來(lái)進(jìn)行開發(fā)。

　　而在此新舊制程混搭的發(fā)展趨勢(shì)下，舊制程的設(shè)備開始供不應(yīng)求，有些二手設(shè)備甚至連要正常運(yùn)作都有困難，卻仍有晶圓廠愿意將就著使用，使二手設(shè)備益發(fā)搶手。

　　晶圓檢測(cè)設(shè)備廠科磊(KLA-Tencor)表示，二手設(shè)備市場(chǎng)需求向來(lái)波動(dòng)不大，不過(guò)2014年的表現(xiàn)卻特別亮眼，主要是來(lái)自對(duì)8吋以及部分12吋晶圓設(shè)備的需求，也就是比目前落后二個(gè)世代、40奈米以上制程。

　　二手設(shè)備市場(chǎng)升溫，讓相關(guān)業(yè)者陸續(xù)投入此區(qū)塊，比如益高科技(EV Group)銷售舊制程所用的接合設(shè)備，設(shè)備大廠科林研發(fā)(Lam Research)近期亦投入28奈米及更舊制程的設(shè)備修繕，并提供結(jié)合了新舊設(shè)備之系統(tǒng)，而應(yīng)用材料(Applied Materials)也開始評(píng)估二手市場(chǎng)規(guī)模。

　　科林研發(fā)副總Wendell Isom表示，超越摩爾定律(More than Moore)的實(shí)現(xiàn)，意味著業(yè)者正努力尋找擴(kuò)充晶圓廠產(chǎn)能的替代方案，因此8吋及12吋制程設(shè)備也會(huì)被用來(lái)開發(fā)物聯(lián)網(wǎng)裝置所需的低功耗等技術(shù)，故設(shè)備商也能持續(xù)為這些舊世代的制程制造新產(chǎn)品。

　　研調(diào)機(jī)構(gòu)Semico Research認(rèn)為，由于新設(shè)備比二手設(shè)備還貴，晶圓廠若想購(gòu)入新設(shè)備就得付出較高的成本，而8吋晶圓廠對(duì)于便宜的二手設(shè)備早就習(xí)以為常，除了接合等某些特定工具外，并不見得想花大錢汰舊換新設(shè)備。

　　因此科磊采取的策略是購(gòu)入二手設(shè)備后，為其進(jìn)行效能提升并加入服務(wù)性。有鑒于早期晶圓廠空間有限，若能讓舊設(shè)備的速度倍增，就可減少設(shè)備的數(shù)量，也能讓業(yè)者更有余裕去添購(gòu)曝光機(jī)、蝕刻機(jī)等新設(shè)備。

　　應(yīng)用材料也正逐步開始嘗試二手設(shè)備修繕業(yè)務(wù)，在消費(fèi)性電子及物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用的帶動(dòng)下，8吋、12吋設(shè)備市場(chǎng)仍可望延續(xù)一段時(shí)日，而其主要市場(chǎng)除了歐洲及北美外，大陸也有一些新蓋的晶圓廠是采用前幾代的制程技術(shù)。

　　為舊設(shè)備進(jìn)行翻修的方法之一，是單純地使其恢復(fù)正常運(yùn)作，由于有些設(shè)備過(guò)于年久失修，單是恢復(fù)正常狀態(tài)就可讓產(chǎn)量提升20%以上。另外，除了提升產(chǎn)量外，也可為檢測(cè)、量測(cè)、圖案辨識(shí)等工具加入網(wǎng)路連線及現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)等先進(jìn)應(yīng)用，進(jìn)一步擴(kuò)充設(shè)備性能。

　　由于市場(chǎng)變幻莫測(cè)，過(guò)去購(gòu)買新設(shè)備就像一場(chǎng)豪賭，相形之下在二手市場(chǎng)賣出舊設(shè)備，并購(gòu)入較新的設(shè)備，似乎是個(gè)更保險(xiǎn)的替代方案。

　　然隨著制程持續(xù)進(jìn)步，二手設(shè)備的供應(yīng)也因需求不斷提升而開始吃緊，使得購(gòu)買二手設(shè)備及新設(shè)備之間的差距開始縮小，故也為制程設(shè)備市場(chǎng)的后續(xù)發(fā)展增添了不少變數(shù)。